Innovative elektrochemische Prozesse für die Mikrostrukturierung

Zielstrukturen sind z.B. gekrümmte Mikrokanäle mit elektropolierter Oberfläche.

Ziel des Projekts ist die Erforschung von Methoden und Verfahren zur Erzeugung komplexer 3D-Mikrostrukturen in Halbleitern und Gläsern. Im Fokus stehen elektrochemische Prozesse (ECP) wie ECA (Electro Chemical Anodization), ECM (Electro Chemical Machining) oder EDM (Electro Discharge Machining).

Im Projekt werden neuartige Prozessvarianten untersucht und an gezielten Zielapplikationen der Fluidik und Optik überprüft. Methodisch werden dazu Modellbildung/Simulation, experimentelle Untersuchungen und Prozesskontroll- und Messverfahren verknüpft.

Der innovative Kern des Projekts liegt in der Verwendung von „Hilfs- oder Assistenz- Elektroden“ bei der elektrochemischen Bearbeitung, welche die Bearbeitung nichtleitfähiger Materialien ermöglichen. Ebenso wird die Flexibilität von ECP bezüglich der herstellbaren Formen und Geometrieprofile sowie die Genauigkeit hinsichtlich Formeinhaltung und Oberflächengüte verbessert.

Projektpartner

Hochschule Furtwangen (Projektleitung)
Universität Freiburg, Institut für Mikrosystemtechnik (IMTEK)

Laufzeit: 2014-2016, 24 Monate

Das Projekt wird im Rahmen des Förderprogramms „Innovative Projekte/Kooperationsprojekte“ des Ministeriums für Wissenschaft, Forschung und Kunst (MWK) Baden-Württemberg gefördert.

Kontakt

Prof. Dr. Ulrich Mescheder
Rektorat, Fakultät Mechanical and Medical Engineering
Prorektor für Forschung und Entwicklung, Technologietransfer
Leiter Institut für Angewandte Forschung
07723 920-2232
07723 920-2633
Campus Furtwangen, Raum B 1.10
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