Innovative Elektroden und Prozesse für Mikro-ECM

Beschichtete Werkzeug-Elektrode mit Silizium-Werkstück. (c) Fotografie Bernd Müller

Das Hauptziel dieses Projekts ist die Entwicklung eines neuen Verfahrens der hochpräzisen Mikrostrukturierung von in der Mikrosystemtechnik verwendeten Werkstoffen. 
Im Projekt werden die Mikrostrukturierungsverfahren elektrochemisches Abtragen (engl.: Electro Chemical Machining, ECM) und elektrochemische Anodisierung (engl.: Electro Chemical Anodization, ECA) kombiniert, um präzise 3D Formen herzustellen. Als Werkzeug-Elektroden werden günstige Elektroden aus Kunststoff verwendet. Diese Elektroden werden in einem Rapid-Prototyping Verfahren hergestellt und mit Metall beschichtet. Auf Silizium-Werkstücken werden mithilfe leitfähiger und nichtleitfähiger Maskierungen sekundäre Elektroden definiert, um den Strukturierungsprozess zu lokalisieren. Für den Prozess wird der Umbau einer kommerziell vorhandenen Anodisierungsanlage durchgeführt.
Ein wichtiger Aspekt des Projekts ist die FEM-Modellierung des zu entwickelten ECM-ECA Prozessen.

Das Projekt wird im Rahmen des ERA-NET Programmes der europäischen Kommission gefördert und von der Hochschule Furtwangen koordiniert. 

Projektpartner

Hochschule Furtwangen (Deutschland, Projektkoordinator)
Staatliche Universität Tula (Russland)
Fachhochschule Nordwestschweiz (Schweiz)
OOO “Novye Tehnologii” (Russland)
Advanced Micromachining Tools GmbH (Deutschland)

Projektleiter
Prof. Dr. Ulrich Mescheder

Kontakt

 Alexey Ivanov
Alexey Ivanov
Fakultät Mechanical and Medical Engineering
07723 920 2103
Campus Furtwangen, Raum B 1.34