2015

Christine Härtel, Dorothee Maier, Astrid Wagner, Volker Bucher: Atmosphärendruckplasma in der Medizintechnik. Teil 2. WOMag, no. 1-2/2015, S. 1-8. ISSN 2195-5905, DOI: 10.7395/2015/HaertelMaier2

Christine Härtel, Dorothee Maier, Astrid Wagner, Volker Bucher: Atmosphärendruckplasma in der Medizintechnik. Teil 3. WOMag, no. 3/2015, S. 1-10. ISSN 2195-5905, DOI: 10.7395/2015/HaertelMaier3

Christine Härtel, Dorothee Maier, Astrid Wagner, Volker Bucher: Atmosphärendruckplasma in der Medizintechnik. Teil 4. WOMag, no. 4/2015, S. 1-9. ISSN 2195-5905, DOI: 10.7395/2015/HaertelMaier4

Christine Härtel, Dorothee Maier, Astrid Wagner, Volker Bucher: Atmosphärendruckplasma in der Medizintechnik. Teil 5. WOMag, no. 5/2015, S. 1-8. ISSN 2195-5905, DOI: 10.7395/2015/HaertelMaier5

Christine Härtel, Dorothee Maier, Astrid Wagner, Volker Bucher: Atmosphärendruckplasma in der Medizintechnik. Teil 6. WOMag, no. 6/2015, S. 1-10. ISSN 2195-5905, DOI: 10.7395/2015/HaertelMaier6

Michael Banghard, Kamel Silmy, Rene von Metzen, Volker Bucher: Korrosionsschutz von Edelstahl mit neuartigem Schichtdesign. WOMag 12/2015, S. 19. ISSN 2195-5905

Isman Khazi, Ulrich Mescheder: Corner rounding of sharp silicon punching tool edges by local oxidation of silicon. Microelectronic Engineering 02/2015; Volume 141:178–183. ISSN 0167-9317, DOI:10.1016/j.mee.2015.02.033

Paul Walden, Janosch Kneer, Stefan Knobelspies, Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder, Stefan Palzer: Micromachined Hotplate Platform for the Investigation of Ink-Jet Printed, Functionalized Metal Oxide Nanoparticles. Journal of Microelectromechanical Systems, 2015; 24(5): 1384-1390. ISSN 1057-7157, DOI:10.1109/JMEMS.2015.2399696

Nigol Kaste, Alexander Filbert, Ulrich Mescheder, Toomas Rang, Galina Rang: Process Development For 3D Laser Lithography. In: W.P. de Wilde, S. Hernandez, C.A. Brebbia (Hrsg.): High performance an optimum design of structures and materials. WIT Transactions on The Built Environment, Vol. 137, 2014, S. 139-150. ISSN 1743-3509, DOI 10.2495/HPSM140131

Surjitsinh Chauhan, Bernhard Müller, Ulrich Mescheder: Simulation, Fabrication and Characterization of Robust Vibrational Energy Harvester. Procedia Engineering 12/2015; 120:349-354. ISSN 1877-7058, DOI:10.1016/j.proeng.2015.08.633

Andras Kovacs, Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder: Tunable Narrow Band Porous Photonic Crystals for MOEMS Based Scanning Systems. Procedia Engineering 12/2015; 120:811-815. ISSN 1877-7058, DOI:10.1016/j.proeng.2015.08.669

Frederico Lima, Holger Reinecke, Ulrich Mescheder: Adhesion of Continuous and Homogeneous Electrodeposited Copper Layers on Silicon. MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26.-28. Oktober 2015 Karlsruhe, CD ROM ISBN 978-3-8007-4100-7, S. 409-412.

Isman Khazi, Ulrich Mescheder: Surface polishing of rough (110) silicon plane by HNA etching resulting from wet anisotropic KOH etching. MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26.-28. Oktober 2015 Karlsruhe, CD ROM ISBN 978-3-8007-4100-7, S. 417-420.

Isman Khazi, Ulrich Mescheder: Self-aligning micro punch-die system for monocrystalline silicon punching tools for high precision blanking of thin metal foils. MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26.-28. Oktober 2015 Karlsruhe, CD ROM ISBN 978-3-8007-4100-7, S. 429-432.

Isman Khazi, Ulrich Mescheder, Zohaib Siddiqui: Characterization of influence of Sodium Lauryl Sulfate on the surface quality of electrodeposited Nickel-Cobalt alloy from Sulfamate bath. MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26.-28. Oktober 2015 Karlsruhe, CD ROM ISBN 978-3-8007-4100-7, S. 436-439.

Wolfgang Kronast, Volker Lange, Rolf Huster, Ulrich Mescheder: Optische Charakterisierung von Stress-relaxierten aktiven MOEMS-Membranspiegeln mit großer Apertur. MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26.-28. Oktober 2015 Karlsruhe, CD ROM ISBN 978-3-8007-4100-7, S. 523-526.

Andras Kovacs, Philipp Maurer, Ulrich Mescheder: Temperatureinfluss auf die Peakposition bei verschiedenen Umgebungsmedien in porösen Silizium Multilayerschichten. MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26.-28. Oktober 2015 Karlsruhe, CD ROM ISBN 978-3-8007-4100-7, S. 547-550.

Shervin Keshavarzi, Ulrich Mescheder, Holger Reinecke: Bonding Mechanism in the Velcro Concept Si-Si Low Temperature Direct Bonding Technique. Proceedings of the 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2015), 18.-22. Januar 2015, Estoril, Portugal, S. 413-416. DOI: 10.1109/MEMSYS.2015.7050977

Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder: Primary Current Distribution Model for Electrochemical Etching of Silicon Through a Circular Opening. Proceedings of the 2015 COMSOL Conference, 14.-16. Oktober 2015, Grenoble, France, ISBN 978-0-9910001-2-8, 7 Seiten. https://www.comsol.fr/conference2015/user-presentations

Andras Kovacs, Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder: Refractometer Using Photonic Crystals for Fermentation Process Characterization. IEEE Sensors Proceedings 2015, 01.-04. November 2015, Busan, Korea, ISBN 978-1-47799-8202-8, S. 1363-1366. DOI: 10.1109/ICSENS.2015.7370526

2014

Christine Härtel, Dorothee Maier, Astrid Wagner, Volker Bucher: Atmosphärendruckplasma in der Medizintechnik: Teil 1, WOMag No. 12/2014, S.1-11. ISSN 2195-5905, DOI: 10.7395/2014/HaertelMaier1.

Ulrich Mescheder, I. Khazi, Andras Kovacs, Alexey Ivanov: Tunable optical filters with wide wavelength range based on porous multilayers. Nanoscale Research Letters 2014 9:427, DOI: 10.1186/1556-276X-9-427, 6 Seiten.

Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder, Bernhard Müller, Rolf Huster: Development of a focusing micromirror device with an in-plane stress relief structure in silicon-on-insulator technology. J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS. 13(1), 011112 (Jan 21, 2014), ISSN 1932-5150, DOI:10.1117/1.JMM.13.1.011112, 10 Seiten.

Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder, Peter Woias: Finite-Elements Simulation of Etch Front Propagation in Silicon Electropolishing Process. ECS Transactions 04/2014; 58(46):15-24.

Laszlo Becsi, Thomas Bier, Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder, Dirk Benyoucef: A Novel Miniaturized Noise Level Dosimeter for Investigation and Prevention of Human Hearing Loss. Sensoren und Messsysteme 2014, 17. ITG/GMA-Fachtagung Nürnberger CongressCenter, Nürnberg, 3.-4. Juni 2014, 6 Seiten.

Ulrich Mescheder, Isman Khazi, Andras Kovacs, Alexey Ivanov: MOEMS based concept for miniaturized monochromators, spectrometers and tunable light sources. 1. BW-CAR Symposium on Information and Communication Systems (SInCom), 12.12.14 Villingen-Schwenningen, Germany, ISBN 978-3-00-048182-6, S. 38-43

Rui Zhu, Ulrich Mescheder, Frederico Lima: Actuation concept for miniaturized tactile systems. 1. BW-CAR Symposium on Information and Communication Systems (SInCom), 12.12.14 Villingen-Schwenningen, Germany, ISBN 978-3-00-048182-6, S. 44-49.

Ulrich Mescheder, Isman Khazi, Andras Kovacs, Alexey Ivanov: Tunable optical filters with wide wavelength range based on porous multilayers. Porous Semiconductors - Science and Technology PSST, Materials of the 9th International Conference, Alicante-Benidorm, Spain, 9.-14.03.2014, S. 354-355.

Ulrich Mescheder, Isman Khazi: Corner rounding of sharp silicon punching tool edges by local oxidation of silicon. 40th Micro and Nano Engineering 2014, Lausanne, Switzerland, Sept 22-26, 2014, 5 Seiten.

Shervin Keshavarzi, Ulrich Mescheder, Holger Reinecke: Characterisation and simulation of low temperature Si-Si-direct bonding through velcro-like surfaces based on porous silicon. The 27th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), San Francisco, USA. 26.-30.01.2014. DOI: 10.1109/MEMSYS.2014.6765842, S. 1119 -1122.

Frederico Lima, Ulrich Mescheder, Holger Reinecke: Electrochemical Impedance Spectroscopy of n-Si100 Pre-etched by KOH or BHF. 10th International Symposium on Electrochemical Impedance Analysis (EIA 2014), Borovetz, Bulgaria, 01.-05.06.2014, 1 Seite.

Frederico Lima, Ulrich Mescheder, Holger Reinecke: Maskless Selective Electrodeposition on Silicon. 65th Annual Meeting of the International Society of Electrochemistry, Lausanne, Schweiz, 31.08. - 5.09.2014, 1 Seite.

Frederico Lima, Ulrich Mescheder, Holger Reinecke: Electroanalysis of Silicon Surfaces for Seedless. 6th Electrochemistry in Nanoscience, 26.-28.05.2014, Paris, France, 1 Seite.

Ulrich Mescheder: Forschungsgebiet Mikrosystemtechnik im Forschungsschwerpunkt Smart Systems. Forschungsreport für die Elektrotechnik in Baden-Württemberg, 2014, ISSN 2199-4889, S. 48-51.

2013

Andras Kovacs, Wolfgang Kronast, Alexander Filbert, Ulrich Mescheder: Transport in Surface Passivated Porous Silicon Membranes, ECS Transactions 2013, 50 (37), ISSN 1938-6737, doi 10.1149/05037.0207ecst, S. 207-216. (Liste der Koordinierungsstelle)

Laszlo Becsi, Dirk Benyoucef, Thomas Bier, Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder: Entwicklung eines Impulslärm-Dosimeters zur Untersuchung von Gehörschädigungen bei Menschen. Mikrosystemtechnik-Kongress 2013, Aachen, 14-16.10.2013. In: GMM; VDI/VDE-IT (Hrsg.): MikroSystemTechnik Kongress 2013, 880 Seiten, CD-ROM, ISBN 978-3-8007-3555-6, S. 578-581.

Andras Kovacs, Aina Malisauskaite, Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder: Steuerung der Peaklage und der Sensitivität von siliziumbasierten porösen optischen Multischichten. In: GMM ; VDI/VDE-IT (Hrsg.): MikroSystemTechnik Kongress 2013, 880 Seiten, CD-ROM, ISBN 978-3-8007-3555-6, S. 185-188.

Andras Kovacs, Aina Malisauskaite, Ulrich Mescheder: Einfluss der Morphologie auf die Sensitivität eines photonischen Biosensors. In: GMM ; VDI/VDE-IT (Hrsg.): MikroSystemTechnik Kongress 2013, 880 Seiten, CD-ROM, ISBN 978-3-8007-3555-6, S.818-821.

Ulrich Mescheder, Q. Gu, Bernhard Müller: Preiswerter und robuster Harvester für Vibrationsenergie. In: GMM ; VDI/VDE-IT (Hrsg.): MikroSystemTechnik Kongress 2013, 880 Seiten, CD-ROM, ISBN 978-3-8007-3555-6, S. 107-110.

Shervin Keshavarzi, Ulrich Mescheder, Holger Reinecke: Modellierung der Verbindungskräfte zwischen Nanonadeln zum Bonden nach dem Velcro® oder Gecko Prinzip. In: GMM ; VDI/VDE-IT (Hrsg.): MikroSystemTechnik Kongress 2013, 880 Seiten, CD-ROM, ISBN 978-3-8007-3555-6, S.864-867.

Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder, Bernhard Müller, Rolf Huster: Entwicklung einer Stressausgleichsstruktur für spannungsarme aktive Membranspiegel in SOI Technologie. In: GMM ; VDI/VDE-IT (Hrsg.): MikroSystemTechnik Kongress 2013, 880 Seiten, CD-ROM, ISBN 978-3-8007-3555-6, S. 432-435.

Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder, Peter Woias: Finite-elements simulation of etch front propagation in silicon electropolishing process. Proceedings of 224th ECS Meeting, 27.10. - 01.11.2013, San Francisco, USA, 1 Seite.

Andras Kovacs, Aina Malisauskaite, Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder, R. Wittig: Optical sensing and analysis system based on porous layers. 17th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS), 27-31 October 2013, Freiburg, Germany, ISBN 978-0-9798064-6-9, S. 275-277.

Andras Kovacs, Aina Malisauskaite, Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder: Optical Sensor Using Tunable Optical Multilayers. Proceedings IEEE Sensors 2013, November 4 – 6, 2013, Baltimore, USA, doi 10.1109/ICSENS.2013.6688555, S. 1691-1694.

Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder, Bernhard Müller, Rolf Huster: Development of a focusing micromirror device with in-plane stress relief structure in SOI technology. Proc. SPIE 8616, MOEMS and Miniaturized Systems XII, 86160Z (March 13, 2013), San Francisco, 2013, doi10.1117/12.2001229.

Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder, Bernhard Müller: Development of stress relief suspensions for micromachined silicon membranes. Proceedings of COMSOL Conference, 2013, Rotterdam, 4 Seiten, www.comsol.com/paper/development-of-stress-relief-suspensions-for-micro-machined-silicon-membranes-15193