Beschichtungsanlagen

  • Myplas III ALD (Plasma Electronic GmbH)
  • Plasma Flecto 30 (Plasma Technology)
  • Labcoater 300 (Parylenebeschichtungsanlage von PPS)
  • PlasmaTreat (Atmosphärenplasmaanlage, Plasmatreat GmbH)
  • Neoplas Control Kin Pen 11 (Atmosphären Plasma "Stift")
  • Glove Box

Analyse

  • AFM Topometrix Explorer (Atomic Force Microscope)
  • XL30 ESEM Philips (Rasterelektronenmikroskop, REM mit EDX)
  • Keyence VHX (Mikroskop)
  • Mitutoyo Ultraplan FS 110 (Mikroskop bis 1000-fach)
  • Ocean Optics NanoCalc-XR (Schichtdickenmessung)
  • Source tronic (Hochspannungsdurchschlagmessung)
  • Quorum SC 7620 (Sputter Coater)
  • Contact Angle Measuring System G 10
  • Alpha Step 500 (Tencor) Surface Profiler
  • Impedanzmessgerät
  • DC Leakage Messvorrichtung
  • Tribometer Pin Disc Machine

Maschinenbau / Robotertechnik

  • Fanuc R2000iB-170CF 6-Achs-Knickarm Industrieroboter
  • Fanuc M-3iA-6A 6-Achs-Deltaroboter SN: E-61360
  • Tektronix MS070404C Mixed Signal Oscilloscope
  • Tektronix AFG3022C Dual Channel Arbitrary/Function Generator

Sonstiges

  • 3D Drucker
  • Nabertherm HAT 64/17 (Hochtemperaturofen)
  • Salzsprühnebelanlage Weiss Technik SSC 450 (Korrossionstest)
  • Binder APT.line MKF (E3.1) Klimaschrank