Gerätetechnische Ausstattung

Beschichtungsanlagen

  • Atomlagenabscheidung ALD (Myplas III, Plasma Electronic GmbH)
  • Plasmaunterstützte Gasphasen Abscheidung PECVD (Plasma Flecto 30, Plasma Technology GmbH)
  • Plasmaunterstützte Gasphasen Abscheidung PECVD (MiniFlecto, Plasma Technology GmbH)
  • Parylenebeschichtungsanlage (Labcoater 300, Plasma Parylene Systems GmbH)
  • Atmosphärenplasmaanlage (Openair Plasma, Plasmatreat GmbH)
  • Atmosphären Plasma "Stift" (Control Kin Pen 11, neoplas GmbH)
  • Sputter Coater (SC7620 Mini, Quorum Technologies Ltd)

Analyse

  • Digitalmikroskop bis 200-fach (Keyence VHX700F, Keyence Deutschland GmbH)
  • Wafer Inspektionsmikroskop bis 1000-fach (Ultraplan FS 110, Mitutoyo Deutschland GmbH)
  • Surface Profiler (Alpha Step 500, KLA Corporation)
  • Kontaktwinkelmessung (Contact Angle Measuring System G 10, A.Krüss Optronic GmbH)
  • Raster Kraft Mikrokop AFM (Topometrix Explorer, Topometrix)
  • Rasterelektronenmikroskop REM (XL30 ESEM mit EDX, Philips)
  • Transmissionselektronen Mikroskop TEM (JEM 2000-FX II, Jeol Germany GmbH)
  • Tribometer Pin Disc Machine (Revetest, CSem SA)
  • Massenspektrometer (Prisma Pro & HiCUBE Eco, Pfeiffer Vakuum)
  • Zugrüfmaschine/ Universalprüfmaschine, 50N (FMT 310, Alluris GmbH)
  • Ionenätzanlage (Ion Mill Model 600, Gatan USA)
  • UV-VIS Spektrometer Schichtdickenmessung (NanoCalc-XR, Ocean Optics Deutschland GmbH)
  • Hochspannungsdurchschlagmessung (ST9201CX AC HIPOT Tester, Sourcetronic GmbH)
  • Impedanz Spektrometer (Solartron EnergyLab XM Potentiostat Galvanostat, Ametek Scientific Instruments)
  • DC Messungen (Keithley 6517B, Electrometer/High Resistance Meter, Tektronix GmbH)

Maschinenbau / Robotertechnik

  • 6-Achs-Knickarm Industrieroboter (R2000iB-170CF, Fanuc Deutschland GmbH)
  • 6-Achs-Deltaroboter (M-3iA-6A SN: E-61360, Fanuc Deutschland GmbH)
  • Mixed Signal Oscilloscope (MS070404C, Tektronix GmbH)
  • Dual Channel Arbitrary/Function Generator (AFG3022C, Tektronix GmbH)

Sonstiges

  • 3D Drucker (i3MK3, Prusa Research s.r.o)
  • 3D Drucker (Geeetech A20M, Shenzhen Getech Technology CO.,LTD)
  • Hochtemperaturofen (HAT 64/17, Nabertherm GmbH)
  • Korrossionstest Salzsprühnebelanlage (SSC 450, Weiss Umwelttechnik GmbH)
  • Klimaschrank (APT.line MKF115 (E3.1), Binder GmbH)
  • Glove Box mit Gasreinigung (PGB 20k, Sylatech GmbH)
  • Vakuum Lecksucher (Ultratest M2, Helium, Leybold Heraeus GmbH)
  • Tisch Dosier Roboter (JR 3303, Janome Industrial Equipment Europe GmbH)
  • Laser Gravier und Schneideanlage (Sabko 460, Sabko GmbH)
  • CO₂ Schneestrahl Reinigungsanlage (CO₂ Cleaning, acp GmbH)
  • CO₂Trockeneisstrahlanlage (DIS Mini, DIS Dry Ice Solution GmbH)