Gerätetechnische Ausstattung
Beschichtungsanlagen
- Atomlagenabscheidung ALD (Myplas III, Plasma Electronic GmbH)
- Plasmaunterstützte Gasphasen Abscheidung PECVD (Plasma Flecto 30, Plasma Technology GmbH)
- Plasmaunterstützte Gasphasen Abscheidung PECVD (MiniFlecto, Plasma Technology GmbH)
- Parylenebeschichtungsanlage (Labcoater 300, Plasma Parylene Systems GmbH)
- Atmosphärenplasmaanlage (Openair Plasma, Plasmatreat GmbH)
- Atmosphären Plasma "Stift" (Control Kin Pen 11, neoplas GmbH)
- Sputter Coater (SC7620 Mini, Quorum Technologies Ltd)
Analyse
- Digitalmikroskop bis 200-fach (Keyence VHX700F, Keyence Deutschland GmbH)
- Wafer Inspektionsmikroskop bis 1000-fach (Ultraplan FS 110, Mitutoyo Deutschland GmbH)
- Surface Profiler (Alpha Step 500, KLA Corporation)
- Kontaktwinkelmessung (Contact Angle Measuring System G 10, A.Krüss Optronic GmbH)
- Raster Kraft Mikrokop AFM (Topometrix Explorer, Topometrix)
- Rasterelektronenmikroskop REM (XL30 ESEM mit EDX, Philips)
- Transmissionselektronen Mikroskop TEM (JEM 2000-FX II, Jeol Germany GmbH)
- Tribometer Pin Disc Machine (Revetest, CSem SA)
- Massenspektrometer (Prisma Pro & HiCUBE Eco, Pfeiffer Vakuum)
- Zugrüfmaschine/ Universalprüfmaschine, 50N (FMT 310, Alluris GmbH)
- Ionenätzanlage (Ion Mill Model 600, Gatan USA)
- UV-VIS Spektrometer Schichtdickenmessung (NanoCalc-XR, Ocean Optics Deutschland GmbH)
- Hochspannungsdurchschlagmessung (ST9201CX AC HIPOT Tester, Sourcetronic GmbH)
- Impedanz Spektrometer (Solartron EnergyLab XM Potentiostat Galvanostat, Ametek Scientific Instruments)
- DC Messungen (Keithley 6517B, Electrometer/High Resistance Meter, Tektronix GmbH)
Maschinenbau / Robotertechnik
- 6-Achs-Knickarm Industrieroboter (R2000iB-170CF, Fanuc Deutschland GmbH)
- 6-Achs-Deltaroboter (M-3iA-6A SN: E-61360, Fanuc Deutschland GmbH)
- Mixed Signal Oscilloscope (MS070404C, Tektronix GmbH)
- Dual Channel Arbitrary/Function Generator (AFG3022C, Tektronix GmbH)
Sonstiges
- 3D Drucker (i3MK3, Prusa Research s.r.o)
- 3D Drucker (Geeetech A20M, Shenzhen Getech Technology CO.,LTD)
- Hochtemperaturofen (HAT 64/17, Nabertherm GmbH)
- Korrossionstest Salzsprühnebelanlage (SSC 450, Weiss Umwelttechnik GmbH)
- Klimaschrank (APT.line MKF115 (E3.1), Binder GmbH)
- Glove Box mit Gasreinigung (PGB 20k, Sylatech GmbH)
- Vakuum Lecksucher (Ultratest M2, Helium, Leybold Heraeus GmbH)
- Tisch Dosier Roboter (JR 3303, Janome Industrial Equipment Europe GmbH)
- Laser Gravier und Schneideanlage (Sabko 460, Sabko GmbH)
- CO₂ Schneestrahl Reinigungsanlage (CO₂ Cleaning, acp GmbH)
- CO₂Trockeneisstrahlanlage (DIS Mini, DIS Dry Ice Solution GmbH)