Mikrosystemtechnikkonferenz in Freiburg

Institut für Mikrosystemtechnik präsentiert aktuelle Forschungsarbeiten

Vom 16.-17. April fand in Freiburg die microTEC Südwest Clusterkonferenz statt. Über 200 Teilnehmer informierten sich in über neueste Trends und Entwicklungen in der Mikrosystemtechnik. In mehreren Fachvorträgen und als Aussteller präsentierte das Institut für Mikrosystemtechnik (iMST) der Hochschule Furtwangen aktuelle Forschungsarbeiten in den Themenfeldern Sensorik und Analyse für die Medizin, Oberflächen und Prozesse sowie Sensoren und Komponenten.

Prof. Dr. Volker Bucher, Prof. Dr. Ulrich Mescheder und Mitarbeiter des iMST stellten mikrotechnische Verfahren zur Herstellung von 3D Freiformen und die Atomlagenabscheidung (ALD)- Technologie für Mikrosysteme vor. Seit etwa einem Jahr ist eine neue ALD-Clusteranlage im Technologielabor für Mikro- und Nanosysteme der HFU in Betrieb. Diese ermöglicht u.a. die Bearbeitung verschiedener Forschungsfragen im Bereich Oberflächen- und Beschichtungstechnik.