Institut für Mikrosystemtechnik

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Wir erforschen die Mikro- und Nanowelten

Das Team vom IMST

Unser Team

Mikrosysteme spielen eine entscheidende Rolle in Bereichen wie Elektronik, Medizintechnik und Biotechnologie, indem sie effizientere und miniaturisierte Lösungen bieten. Im alltäglichen Leben begegnen uns zum Beispiel Tintendruckköpfe und Sensoren zur Airbag-Auslösung oder zur automatischen Bilddrehung im Smartphone. In der Medizintechnik können Blinde wieder sehen, Taube wieder hören und es gibt intelligente Pillen, die im Magen-Darmtrakt Blutungen nach außen melden.

Seit vielen Jahren forscht das Institut für Mikrosystemtechnik (iMST) an neuen Mikrosystemen, zugehörigen Modellierungs- und Herstellungsverfahren sowie Methoden zur Charakterisierung.

Das iMST ist eines der größten Forschungsinstitute der HFU, seine Forschungsergebnisse werden international wahrgenommen. 
Das hochmotivierte, multidisziplinäre Team forscht in zahlreichen Kooperationsprojekten mit Unternehmen, wissenschaftlichen Einrichtungen und Universitäten an anwendungsorientierten Fragestellungen der Mikrosystemtechnik. Auch eine direkte Auftragsforschung ist möglich.

Praktika, Thesen und Promotionen

Studierende können für Praxis- oder Thesis-Arbeiten spannende Themen im Kontext von aktuellen Forschungsprojekten finden. Das iMST bietet in diesen Projekten auch regelmäßig Promotionsstellen an. Die HFU kann im Promotionsverband der Hochschulen Baden-Württemberg (Promotionszentrum BW-CAR https://www.hs-furtwangen.de/zukunft-forschen/promotion) diese Promotionen direkt betreuen.

Labore und Ausstattung

Zum iMST gehören das Link öffnet sich im gleichen Fenster:Nano- und Mikrotechnologie-Labor in Furtwangen sowie das Link öffnet sich im gleichen Fenster:Forschungszentrum Rottweil. Es besteht im Reinraum eine umfangreiche Ausstattung mit innovativen Beschichtungsanlagen (PVD, PECVD, ALD, Parylen-Beschichtung) und Strukturierungsmethoden (Foto-Lithographie und Maskenloser Laser- Lithographie, FIB-Strukturierung). Für die Oberflächen- und Grenzflächenanalytik sind modernste Geräte wie zum Beispiel FIB-SEM, RAMAN-Spektroskopie oder Laserscan-Mikroskope vorhanden. 

Mikrosysteme können in speziellen Auslagerungstests auf ihre Eignung und Langzeitstabilität in harscher Umgebung (zum Beispiel für aktive Implantate: simulierte physiologische Körperumgebung) getestet werden. 

Unsere Forschungsgebiete

Forschungsprojekte

DiaKat+

Funktionalisierter taktiler Sensorkatheter zur modellbasierten Diagnostik pathologischer Gefäßveränderungen in Arterien.
Link öffnet sich im gleichen Fenster:Zu Diakat+

HelpMeWalk

Das Projekt adressiert das Fehlen einer erschwinglichen und einfachen Technik für orthopädische Praxen zur 3D-Bildgebung des menschlichen Körpers.
Link öffnet sich im gleichen Fenster:Zu HelpMeWalk

Filterhub

Ziel dieses Projektes ist die Entwicklung des ersten hochwertigen und kontinuierlich durchstimmbaren, optischen Bandpassfilters für den THz-Bereich (z.B. 0,3-1,6 THz) und den fernen IR-Bereich.
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F-safe

Im Projekt soll eine neuartige Plasmaanlage für fluorprozessierte Ätz- und Beschichtungsverfahren entwickelt werden.
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Maintaining sharp vision even in old age

In dem interdisziplinären Kooperationsprojekt wird sowohl an einer smarten Kontaktlinse als auch an einem Intraokularen Implantat entwickelt.
Link öffnet sich im gleichen Fenster:Zu Maintaining sharp vision even in old age

MUST ACT

Mehrstufiges multistabiles Aktorsystem mit einstellbarem Hub, Reichweite und Kraft basierend auf kooperativen elektrostatischen Aktoren.
Link öffnet sich im gleichen Fenster:Zu MUST ACT

Neuroflexarray

Projektziel ist die Entwicklung eines großflächigen und hochauflösenden Elektrodenarrays für neuronale Anwendungen.
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PlasmaKlient

Neuartige Plasmatechnologie für den Ausschluss klimaschädlicher Fluorkohlenwasserstoff-Emissionen in industriellen Trockenätzprozessen.
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CoHMed

Connected Health in Medical Mountains - eine Innovations- und Transferpartnerschaft der Hochschule Furtwangen. Teilprojekte zur Entwicklung von intelligenten medizinischen Instrumenten und funktionellen Oberflächen.
Link öffnet sich im gleichen Fenster:Zu CoHMed​​​​​​​

Smart Optics

FuE-Projekt zur Entwicklung von MOEMS-basierten, smarten optischen Systemen.
Link öffnet sich im gleichen Fenster:Zu Smart Optics

SensoGrind

In situ Qualitätsbeurteilung von Schleifprozessen mittels MST-basierter Sensorfusion.
Link öffnet sich im gleichen Fenster:Zu SensoGrind​​​​​​​

Neues aus der Forschung an der HFU

Publikationen

Institut für Mikrosystemtechnik