Institut für Mikrosystemtechnik

zu Forschungsinstitute

Wir erforschen die Mikro- und Nanowelten

Das Team vom IMST

Unser Team

Mikrosysteme spielen eine entscheidende Rolle in Bereichen wie Elektronik, Medizintechnik und Biotechnologie, indem sie effizientere und miniaturisierte Lösungen bieten. Im alltäglichen Leben begegnen uns zum Beispiel Tintendruckköpfe und Sensoren zur Airbag-Auslösung oder zur automatischen Bilddrehung im Smartphone. In der Medizintechnik können Blinde wieder sehen, Taube wieder hören und es gibt intelligente Pillen, die im Magen-Darmtrakt Blutungen nach außen melden.

Seit vielen Jahren forscht das Institut für Mikrosystemtechnik (iMST) an neuen Mikrosystemen, zugehörigen Modellierungs- und Herstellungsverfahren sowie Methoden zur Charakterisierung.

Das iMST ist eines der größten Forschungsinstitute der HFU, seine Forschungsergebnisse werden international wahrgenommen. 
Das hochmotivierte, multidisziplinäre Team forscht in zahlreichen Kooperationsprojekten mit Unternehmen, wissenschaftlichen Einrichtungen und Universitäten an anwendungsorientierten Fragestellungen der Mikrosystemtechnik. Auch eine direkte Auftragsforschung ist möglich.

Praktika, Thesen und Promotionen

Studierende können für Praxis- oder Thesis-Arbeiten spannende Themen im Kontext von aktuellen Forschungsprojekten finden. Das iMST bietet in diesen Projekten auch regelmäßig Promotionsstellen an. Die HFU kann im Promotionsverband der Hochschulen Baden-Württemberg (Promotionszentrum BW-CAR https://www.hs-furtwangen.de/zukunft-forschen/promotion) diese Promotionen direkt betreuen.

Labore und Ausstattung

Zum iMST gehören das Link öffnet sich im gleichen Fenster:Nano- und Mikrotechnologie-Labor in Furtwangen sowie das Link öffnet sich im gleichen Fenster:Forschungszentrum Rottweil. Es besteht im Reinraum eine umfangreiche Ausstattung mit innovativen Beschichtungsanlagen (PVD, PECVD, ALD, Parylen-Beschichtung) und Strukturierungsmethoden (Foto-Lithographie und Maskenloser Laser- Lithographie, FIB-Strukturierung). Für die Oberflächen- und Grenzflächenanalytik sind modernste Geräte wie zum Beispiel FIB-SEM, RAMAN-Spektroskopie oder Laserscan-Mikroskope vorhanden. 

Mikrosysteme können in speziellen Auslagerungstests auf ihre Eignung und Langzeitstabilität in harscher Umgebung (zum Beispiel für aktive Implantate: simulierte physiologische Körperumgebung) getestet werden. 

Unsere Forschungsgebiete

Mikro- und Nanosystemtechnik

  • Flexible Sensorik
  • Mikro-Aktoren
  • Optische Systeme
  • Innovative Sensoren

Mikromedizintechnik

  • Flexible Sensorik
  • Aktive Implantate (Bsp. Distraktor, Biosignal-gesteuerte Mikro-Linse…)
  • Funktionale Beschichtungen (z.B. biokompatibel, biostabil und bioaktiv)
  • Schutz von miniaturisierter Elektronik in physiologischer Umgebung

Oberflächentechnologie

  • Funktionale Beschichtungen wie ALD (optional Flächen-selektiv), PVD, PECVD z.B. für Antireflexschichten, korrosionsfeste  Beschichtungen, quasihermetische flexible Diffusionsbarrieren
  • Mikro- und Nanostrukturierung (mit Ga+-Ionenstrahl, Laser- und Fotolithography)
  • Schutz von miniaturisierter Elektronik in harscher Umgebung
  • Innovative Oberflächen-Reinigung und Aktivierung (z.B. CO2-Reinigung, Plasmareinigung)
  • Ultra-homogene dekorative Schichten auf komplexen Oberflächen

Analytik

  • Auslagerungs-, Lebensdauertests
  • 3D Mikrotomographie (am FIB-SEM)
  • Oberflächen- und Grenzflächenanalytik (SEM, TEM, ToF-SIMS, EDX, EBSD, FT-IR, konfokale Lasermikroskopie, Ellipsometrie, XRD, RFA)
  • Materialprüfung (Haftungstests, Zugprüfung, Härtemessung, DSC, Elektrochemische Impedanzspektroskopie, Zyklische Voltametrie, Quadrupol-Massenspektrometrie)

Forschungsprojekte

DiaKat+

Funktionalisierter taktiler Sensorkatheter zur modellbasierten Diagnostik pathologischer Gefäßveränderungen in Arterien.
Link öffnet sich im gleichen Fenster:Zu Diakat+

HelpMeWalk

Das Projekt adressiert das Fehlen einer erschwinglichen und einfachen Technik für orthopädische Praxen zur 3D-Bildgebung des menschlichen Körpers.
Link öffnet sich im gleichen Fenster:Zu HelpMeWalk

Filterhub

Ziel dieses Projektes ist die Entwicklung des ersten hochwertigen und kontinuierlich durchstimmbaren, optischen Bandpassfilters für den THz-Bereich (z.B. 0,3-1,6 THz) und den fernen IR-Bereich.
Link öffnet sich im gleichen Fenster:Zu Filterhub

F-safe

Im Projekt soll eine neuartige Plasmaanlage für fluorprozessierte Ätz- und Beschichtungsverfahren entwickelt werden.
Link öffnet sich im gleichen Fenster:Zu F-safe

Maintaining sharp vision even in old age

In dem interdisziplinären Kooperationsprojekt wird sowohl an einer smarten Kontaktlinse als auch an einem Intraokularen Implantat entwickelt.
Link öffnet sich im gleichen Fenster:Zu Maintaining sharp vision even in old age

MUST ACT

Mehrstufiges multistabiles Aktorsystem mit einstellbarem Hub, Reichweite und Kraft basierend auf kooperativen elektrostatischen Aktoren.
Link öffnet sich im gleichen Fenster:Zu MUST ACT

Neuroflexarray

Projektziel ist die Entwicklung eines großflächigen und hochauflösenden Elektrodenarrays für neuronale Anwendungen.
Link öffnet sich im gleichen Fenster:Zu Neuroflexarray

PlasmaKlient

Neuartige Plasmatechnologie für den Ausschluss klimaschädlicher Fluorkohlenwasserstoff-Emissionen in industriellen Trockenätzprozessen.
Link öffnet sich im gleichen Fenster:Zu PlasmaKlient​​​​​​​

CoHMed

Connected Health in Medical Mountains - eine Innovations- und Transferpartnerschaft der Hochschule Furtwangen. Teilprojekte zur Entwicklung von intelligenten medizinischen Instrumenten und funktionellen Oberflächen.
Link öffnet sich im gleichen Fenster:Zu CoHMed​​​​​​​

Smart Optics

FuE-Projekt zur Entwicklung von MOEMS-basierten, smarten optischen Systemen.
Link öffnet sich im gleichen Fenster:Zu Smart Optics

SensoGrind

In situ Qualitätsbeurteilung von Schleifprozessen mittels MST-basierter Sensorfusion.
Link öffnet sich im gleichen Fenster:Zu SensoGrind​​​​​​​

Neues aus der Forschung an der HFU

Publikationen

Institut für Mikrosystemtechnik

2025 | 2024 | 2023 | 2022 | 2021 | 2020 | 2019 | 2018 | 2017 | 2016 | 2015 | 2014 | 2013 | 2012 | 2011 | 2010 | 2009 | 2008 | 2007 | 2006 | 2005 | 2004 | 2003 | 2002 | 2001 | 2000 | 1999 | 1998 | 1997 | 1996 | 1995 | 1991 | 1990 | 1989 | 1988 | 1987 | 1986 | 1985 | 1984

2025

Nicolai Simon, Thomas Stieglitz, Volker Bucher Area Selective Atomic Layer Deposition for the Use on Active Implants : An Overview of Available Process Technology

2024

Leonie Gottschalk, Sonja Müller, Volker Bucher Analysis of wireless data transfer methods for subcutaneous medical implants
Nicolai Simon, Thomas Stieglitz, Volker Bucher Area Selective Catalytic Etching for Opening Electrodes in Neural Implants
Nicolai Simon, Thomas Stieglitz, Volker Bucher Area-Selective Etching of Parylene-C on Platinum Surfaces
Benjamin Sittkus, Julien Petit, Gerald Urban, Ulrich Mescheder Crack preserving effect in ultrathin metal films on elastomer membranes induced by e-beam irradiation
Sonja Müller, Stefan J. Rupitsch, Ulrich Mescheder Integration Aspects of Smart Actuators in Active Medical Implants for Personalized Medicine
Benjamin Sittkus, Ashish Bhave, Claudia Kühlbach, Margareta Müller, Ulrich Mescheder, Knut Möller Intraluminal sensor-actor-system for tactile vessel diagnosis and model based individualized vessel reconstruction
Sebastian Kaltenstadler, Sven Schumayer, Bishesh Sigdel, Eberhart Zrenner, Volker Bucher, Albrecht Rothermel, Torsten Strasser Intraocular sensor for wireless in vivo real time recording of ciliary muscle potentials during accommodation
Sven Schumayer, Bishesh Sigdel, Torsten Strasser, Eberhart Zrenner, Volker Bucher, Mohamed A. Jarboui, Sandra Wagner Non-invasive recording of ciliary muscle biopotentials during accommodation using novel scleral contact lens electrode
Marvin Schmid, Wolfram Kintzel, Volker Bucher Plasma Etching with Solid Precursors : Feasibility of an effective Closed-Loop Control System with Optical Emission Spectrometry (OES)
Andras Kovacs, Julien Petit, Volker Bucher, Ulrich Mescheder Porous Silicon-Based Absorber Using Integration of Light Trapping and Anti-Reflective Layer
Friederike C. Kortuem, Sebastian Kaltenstadler, Sven Schumayer, Bishesh Sigdel, Immanuel P. Seitz, Tobias Peters, Albrecht Rothermel, Volker Bucher, Eberhart Zrenner, Karl-Ulrich Bartz-Schmidt, Torsten Strasser Surgical approach for the implantation of a capsular ring electrode into the posterior chamber

2023

Sonja Müller, Ulrich Mescheder Energy requirement and energy management for an active implant
Alina Kohler, Felix Blendinger, Sonja Müller, Ulrich Mescheder, Volker Bucher Feasibility of Parylene C for encapsulating piezoelectric actuators in active medical implants
Hakan Alaboz, Benjamin Sittkus, Divya D. Muley, Ulrich Mescheder Finger position sensing on curved surfaces in braille displays
Ashish Bhave, Benjamin Sittkus, Gerald Urban, Ulrich Mescheder, Knut Möller Finite element analysis of the interaction between high-compliant balloon catheters and non-cylindrical vessel structures: towards tactile sensing balloon catheters
Ulrike Passlack, Nicolai Simon, Volker Bucher, Christine Harendt, Thomas Stieglitz, Joachim N. Burghartz Flexible Ultrathin Chip-Film Patch for Electronic Component Integration and Encapsulation using Atomic Layer-Deposited Al2O3–TiO2 Nanolaminates
Isman M. Khazi, Jürgen Wilde, Gregor Neusser, Christine Kranz, Ulrich Mescheder In situ analysis of electrochemical deposition kinetics for nanocrystalline nickel-cobalt alloys with varying bath hydrodynamics
Benjamin Sittkus, Ulrich Mescheder In-situ SEM analysis tool for stretchable metal-elastomer-laminate-membranes for flexible sensors
Almothana Albukhari, Ulrich Mescheder Inchworm Motors and Beyond: A Review on Cooperative Electrostatic Actuator Systems
Przemyslaw Lopato, Michal Herbko, Ulrich Mescheder, Andras Kovacs Influence of a thin dielectric layer on resonance frequencies of square SRR metasurface operating in THz band
Wolfram Kintzel, Marvin Schmid, Achim Rentschler, Jörg Eisenlohr, Volker Bucher Novel method for plasma etching of printed circuit boards as alternative for fluorocarbon gases
Przemyslaw Lopato, Michal Herbko, Paulina Gora, Ulrich Mescheder, Andras Kovacs, Alexander Filbert Numerical Analysis of the Influence of Fabrication Process Uncertainty on Terahertz Metasurface Quality
Mathias Schulz, Stefan Keil, Simon Löhlein, Sourish Banerjee, Nicolai Simon, Catherine Dubourdieu, Volker Bucher, Roland Thewes On the Noise Contribution of Dielectric Interfaces in Biochemical CMOS Sensor Chips
Sonja Müller, Stefan J. Rupitsch, Ulrich Mescheder Study on Sensitivity and Accuracy of Piezoelectric Stack Actuators for Charge Self-Sensing
Shervin Keshavarzi, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder Surface Passivated Porous Silicon-Based Antireflective Coating

2022

Christian Krause, Simone Schrempp, Hans-Georg Enkler, Martin Untenberger, Volker Bucher, Nicolai Simon, Maximilian Schaudig, Malvine N. Strakova, Mihails Scepanskis An approach to improve the efficiency of flux concentrator materials, pt. 2
Nicolai Simon, Aaron Urschel, Thomas Stieglitz, Volker Bucher Area Selectiv Atomic Layer Deposition on Noble Metals
Elisa-Marie Lux, Dirk Herrmann, Thomas Gratzl, Volker Bucher Comparability of the cooling effect of Peltier thermoelectric elements in a chemiluminescence analyzer under extreme climatic conditions
Christoph Reiser, Nicolai Simon, Volker Bucher Determination of the Water Vapour Transmission Rate of Polymer-Metal Oxide Layer Composites
Sonja Müller, Stefan J. Rupitsch, Ulrich Mescheder Experimental characterisation of a piezoelectrically actuated force amplifier using optical and self-sensing methods
Nicolai Simon, Marvin Schmid, Felix Blendinger, Volker Bucher Long Term Evaluation of the Barrier Properties of Polymer/Metal Oxide Hybrid Layers for Use in Medical Implants
Nicolai Simon, Marvin Schmid, Felix Blendinger, Volker Bucher Long Term Evaluation of the Barrier Properties of Polymer/Metal Oxide Hybrid Layers for Use in Medical Implants
Sven Schumayer, Nicolai Simon, Benjamin Sittkus, Sandra Wagner, Volker Bucher, Torsten Strasser Novel Three-Dimensional and Biocompatible Lift-Off Method for Selective Metallization of a Scleral Contact Lens Electrode for Biopotential Detection
Shervin Keshavarzi, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder Porous Silicon Based Ultra-Band infrared Antireflective and Light absorbing Coating
Max Borgolte, Oliver Riester, Isabel Quint, Felix Blendinger, Volker Bucher, Stefan Laufer, René Csuk, Luca Scotti, Hans-Peter Deigner Synthesis of a biocompatible benzophenone-substituted chitosan hydrogel as novel coating for PEEK with extraordinary strong antibacterial and anti-biofilm properties
The Upper-Rhine Artificial Intelligence Symposium UR-AI 2022 : AI Applications in Medicine and Manufacturing, 19 October 2022, Villingen-Schwenningen, Germany

2021

Felix Blendinger, Daniel Seitz, Andreas Ottenschläger, Monika Fleischer, Volker Bucher Atomic Layer Deposition of Bioactive TiO2 Thin Films on Polyetheretherketone for Orthopedic Implants
Benjamin Gohminger, Falk Stukowski, Volker Bucher Bestimmung der Oxidschichtdicke am Stent-Werkstoff L605
Ulrich Kallmann, Michael Lootze, Ulrich Mescheder Charakterisierung und erste Anwendung eines MEMS-basierten adaptiven Zylinderspiegels
Hakan Alaboz, Andras Kovacs, Yasser Safa, Ulrich Mescheder Development of Cost-Effective Automated Test System for Determining Lifetime of Gold Contacts Under Mechanical Load
Ulrich Mescheder, Michael Lootze, Khaled Aljasem Evaluation and Optimization of a MOEMS Active Focusing Device
Ulrike Passlack, Nicolai Simon, Volker Bucher, Christine Harendt, Joachim N. Burghartz Flexible Ultra-Thin Chip-Film Patch for Integration of Electronic Components for Biomedical Applications
Isman M. Khazi, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder, Ali Zahedi, Bahman Azarhoushang Fusion of Optical and Microfabricated Eddy-Current Sensors for the Non-Destructive Detection of Grinding Burn
Isman M. Khazi, Ulrich Mescheder, Jürgen Wilde In situ Electroanalytical Modelling of the Influence of Bath Hydrodynamics on Nucleation Kinetics for Electrodeposition of Nickel-Cobalt Alloy System
Rui Zhu, Ulrike Wallrabe, Peter Woias, Matthias C. Wapler, Ulrich Mescheder Influence of electrode design on actuation characteristics of cooperative DEAP actuators
Almothana Albukhari, Ulrich Mescheder Investigation of the Dynamics of a 2-DoF Actuation Unit Cell for a Cooperative Electrostatic Actuation System
Nicolai Simon, Maria Asplund, Thomas Stieglitz, Volker Bucher Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition of Iridium Oxide for Application in Miniaturized Neural Implants
Benjamin Sittkus, Ulrich Mescheder, Gerald Urban Processing method of thin metal-polymer laminate membranes and transfer to cylindrically shaped substrates for flexible sensors
Nicolai Simon, Ulrike Passlack, Thomas Stieglitz, Felix Blendinger, Volker Bucher Qualification of the Barrier Properties of ALD-coated Polymer Films with Humidity Sensors
Ulrich Kallmann, Michael Lootze, Ulrich Mescheder Simulative and Experimental Characterization of an Adaptive Astigmatic Membrane Mirror

2020

Florian Sicklinger, Yunhang Zhang, Kory Lavine, Nicolai Simon, Volker Bucher, Manfred Jugold, Lorenz Lehmann, Mathias H. Konstandin, Hugo A. Katus, Florian Leuschner A Minimal-Invasive Approach for Standardized Induction of Myocardial Infarction in Mice
Aakash Shah, Florian Höschen, Volker Bucher Biocompatible Polymer Encapsulation for Active Bone Distractors
Andras Kovacs, Isman M. Khazi, Ali Zahedi, Ulrich Mescheder, Bahman Azarhoushang Development of an Optical Sensor for the Non-Destructive Testing of Grinding Burn
Isman M. Khazi, Andras Kovacs, Ali Zahedi, Christian Reser, Ulrich Mescheder, Bahman Azarhoushang, Christoph Reich In situ Qualitätsbeurteilung von Schleifprozessen mittels Mikrosystemtechnik basierter Sensorfusion
Ulrike Passlack, Nicolai Simon, Volker Bucher, Christine Harendt, Thomas Stieglitz, Joachim N. Burghartz Investigation of Long-Term Stability of Hybrid Systems-in-Foil (HySiF) for Biomedical Applications
Michele Dollt, Miriam Reh, Michael Metzger, Gerhard Heusel, Martin Kriebel, Volker Bucher, Günther Zeck Low-temperature atomic-layer deposited oxide on titanium nitride electrodes enables culture and physiological recording of electrogenic cells
Isman M. Khazi, Andras Kovacs, Ali Zahedi, Ulrich Mescheder, Bahman Azarhoushang Microfabricated Eddy-Current Sensors for Non-Destructive Testing of the Micro Grinding Burn
Isman M. Khazi, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder Microfabrication of 3D Free-Forms with Textured Surface Morphology in Monocrystalline Silicon using Grayscale Technology
Isman M. Khazi, Andras Kovacs, Rui Zhu, Ulrich Mescheder Optimization of Microfabricated 2D Planar Spiral Microcoils for the Micro NDT of Grinding Burn
Markus Westerhausen, Tanja Martin, Michael Metzger, Felix Blendinger, Monika Fleischer, Boris Hofmann, Volker Bucher Passivated electrode side walls by atomic layer deposition on flexible polyimide based samples
Isman M. Khazi, Andras Kovacs, Ali Zahedi, Christian Reser, Ulrich Mescheder, Bahman Azarhoushang, Christoph Reich Real time In-Situ Quality Monitoring of Grinding Process using Microtechnology based Sensor Fusion
Andras Kovacs, Dagmar Martin, Alexander Filbert, Volker Bucher, Ulrich Mescheder Single and Multilayer Atomic Layer Deposition on and into Mesoporous Silicon Layers

2019

Almothana Albukhari, Frederico Lima, Ulrich Mescheder Bed-Embedded Heart and Respiration Rates Detection by Longitudinal Ballistocardiography and Pattern Recognition
Markus Westerhausen, Michael Metzger, Felix Blendinger, Anja Levermann, Monika Fleischer, Boris Hofmann, Volker Bucher Characterization of Biostable Atomic Layer Deposited (ALD) Multilayer Passivation Coatings for Active Implants
Rui Zhu, Ulrich Mescheder Deap Based Actuator for Tactile and Microfluidics Applications
Alexander Bejan, Frederico Lima, Ulrike Lindwedel, Almothana Albukhari, Rui Zhu, Maab Inayah, Christophe Kunze, Ulrich Mescheder Design und Evaluation eines low-cost Ambient-Assisted-Living-Sensorsystems zur ballistokardiografischen Messung der Vitalfunktionen und Aktivitäten älterer Bewohner
Rui Zhu, Lennart Rubbert, Pierre Renaud, Ulrich Mescheder Determination of a tactile feedback strategy for use in robotized percutaneous procedures
Frederico Lima, Isman M. Khazi, Ulrich Mescheder, Alok C. Tungal, Uma Muthiah Fabrication of 3D microstructures using grayscale lithography
Benjamin Sittkus, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder Fabrication of a microfluidic system with columnar structures using DRIE for blood brain barrier applications
Benjamin Sittkus, Rui Zhu, Ulrich Mescheder Flexible piezoresistive PDMS metal-thin-film sensor-concept for stiffness evaluation of soft tissues
Frederico Lima, Ulrich Mescheder, Harald Leiste, Müller Claas Influence of current density on the adhesion of seedless electrodeposited copper layers on silicon
Isman M. Khazi, Ulrich Mescheder Influence of electrochemical operating conditions on the microme-chanical properties of electrodeposited Nickel-Cobalt alloys for fabrication of microtools
Volker Bucher Lasermarkierbare matte kratzfeste Oberflächen
Frederico Lima, Almothana Albukhari, Ulrich Mescheder Machine Learning for Contactless Low-Cost Vital Signs Monitoring Systems
Isman M. Khazi, Andras Kovacs, Vaibhav Kumar, Pranav Dhumal, Ulrich Mescheder Microfabricated 2D planar eddy-current microcoils for the non-destructive testing of grinding burn marks
Shervin Keshavarzi, Andras Kovacs, Mohammad Abdo, Vlad Badilita, Jan G. Korvink, Ulrich Mescheder Miniaturized porous silicon rugate filter wheel for multispectral imaging applications
Shervin Keshavarzi, Andras Kovacs, Mohammad Abdo, Vlad Badilita, Rui Zhu, Jan G. Korvink, Ulrich Mescheder Porous Silicon Based Rugate Filter Wheel for Multispectral Imaging Applications
Shervin Keshavarzi, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder Porous silicon based antireflection coating for the MWIR range
Rui Zhu, Ulrike Wallrabe, Peter Woias, Matthias C. Wapler, Ulrich Mescheder Semi-rigid ring-shaped electrode dielectric electroactive polymer membrane as buckling actuator
Shervin Keshavarzi Silicon Needle-like Surfaces for Room Temperature Silicon-Silicon Bonding Applications
Andreas Heid, Marcio Camoleze de Andrade, Lena Bleck, Rene P. von Metzen, Dieter Kern, Jürgen Giehl, Volker Bucher Transfer, Assembly and Embedding of Small CMOS-Die Arrays for the Build-up of Flexible Smart Implants

2018

Isman M. Khazi, Ulrich Mescheder, Uma Muthiah 3D free forms in c-Si via grayscale lithography and RIE
Andreas Heid, Lena Bleck, Rene von Metzen, Volker Bucher A demonstrator for a flexible active microelectrode array with high electrode number
Felix Blendinger Bioaktive Beschichtung für orthopädische Implantate im ALD
Frederico Lima, Almothana Albukhari, Rui Zhu, Ulrich Mescheder Contactless Sleep Monitoring Measurement Setup
Frederico Lima, Almothana Albukhari, Rui Zhu, Ulrich Mescheder Contactless Sleep Monitoring Measurement Setup
Frederico Lima, Ulrich Mescheder, C. Müller, Holger Reinecke Copper electrodeposition on silicon electrodes
Andreas Heid, Marcio C. de Andrade, Rene von Metzen, Jürgen Giehl, Volker Bucher Fabrication of a large area flexible active microelectrode array with more than 1000 recording electrodes
Shervin Keshavarzi, Ulrich Mescheder, Holger Reinecke Formation Mechanisms of Self-Organized Needles in Porous Silicon Based Needle-Like Surfaces
Felix Blendinger, Michael Metzger, Daniel Hähnel, Monika Fleischer, Volker Bucher In situ Prozess-Visualisierung/Optimierung und Anwendung der Atomlagenabscheidung
Frederico Lima, Ulrich Mescheder, Gabor L. Katona, Harald Leiste, Emre Özel, Claas Müller, Holger Reinecke Influence of silicon doping type on the adhesion of seedless electrodeposited copper layers
Michael Metzger, Alexander Konrad, Felix Blendinger, Andreas Modler, Alfred J. Meixner, Volker Bucher, Marc Brecht Low-Cost GRIN-Lens-Based Nephelometric Turbidity Sensing in the Range of 0.1–1000 NTU
Andreas Heid Neuroflexarray - ein neues flexibles Mikroelektrodenarray durch Chip-in-Foil Technolgie
Ulrich Mescheder, Shervin Keshavarzi, Surjitsinh Chauhan New concepts for miniaturized MEMS based power systems
Annabelle Schofer, Markus Niemann, Volker Bucher Reibung von Führungsdrähten und Kathederschläuchen - Recherche zur Technologie - Teil 2
Annabelle Schofer, Markus Niemann, Volker Bucher Reibung von Führungsdrähten und Kathederschläuchen - Recherche zur Technologie - Teil 3
Annabelle Schofer, Markus Niemann, Volker Bucher Reibung von Führungsdrähten und Kathederschläuchen - Recherche zur Technologie - Teil 4
Annabelle Schofer, Markus Niemann, Volker Bucher Reibung von Führungsdrähten und Kathederschläuchen - Teil 1
Shervin Keshavarzi, Frederico Lima, Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder Sequential Nano-Explosion Using Patterned Porous Silicon
Andras Kovacs, Ulrich Mescheder Thin Photonic Crystals for Optical Characterization of Ultrathin Hafnium Dioxide in Mesoporous Layers
Andras Kovacs, Shervin Keshavarzi, A. O. Perez, Stefan Palzer, Ulrich Mescheder Tunable Light Source for Photoacoustic Sensing Applications
Michael Engel, Denis Horn, Felix Blendinger, Michael Metzger, Markus Westerhausen, Volker Bucher Wirtschaftliches Testverfahren zur Bestimmung der Wasserdampf-Durchlässigkeit von Kunststoff-Folien

2017

Uma Muthiah, Isman M. Khazi, Ulrich Mescheder 3D Strukturierung von Silizium mittels Grauwert-Technologie
Shervin Keshavarzi, Wolfgang Kronast, Frederico Lima, Ulrich Mescheder Controlled energy release based on explosive porous silicon
Shervin Keshavarzi, Ulrich Mescheder, Holger Reinecke Effect of Capillary Forces in Room Temperature Si-Si Direct Bonding Technique Using Velcrolike Surfaces
Frederico Lima, Alok Tungal, Isman M. Khazi, Ulrich Mescheder Galvanisch aus 3D-Fotolack-Strukturen abgeformte metallische 3D-Freiformen
Dirk Benyoucef, Vera Kallfaß, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder, Stefan Palzer Mikrosystemtechnische Geruchssensorik und ihre Anwendungen in AAL
Andreas Heid, Lukas Scheuble, Rene von Metzen, Volker Bucher Prozess zum Transfer und zur Einbettung von kleinen Dies in ein flexibles Foliensystem bei niedrigen Temperaturen
Andras Kovacs, Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder Schmalbandige photonische Kristalle für Multispektral-Analyse

2016

Andreas Heid, Marcio C. de Andrade, Rene P. von Metzen, Volker Bucher, Jürgen Giehl A New Active Flexible High Resolution Micro Electrode Array
Alexey Ivanov, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder Application of local backside contacts for structuring Of silicon with anodization: simulation and experiments
Rui Zhu, Ulrike Wallrabe, Matthias C. Wapler, Peter Woias, Ulrich Mescheder Dielectric electroactive polymer membrane actuator with ring-type electrode as driving component of a tactile actuator
Ulrich Mescheder, Alok Tungal, Frederico Lima Electroplated 3D metal free forms casted from 3D photoresist molds
Andreas Heid, Rene P. von Metzen, Alfred Stett, Volker Bucher Examination of dielectric strength of thin Parylene C films under various conditions
Michael Banghard, Romy Hartmann, Kamel Silmy, Wilfried Nisch, Rene P. von Metzen, Alfred Stett, Volker Bucher High voltage insulation properties of DLC-Parylene multilayer films for microsurgery instruments
Victor V. Lyubimov, Vladimir M. Volgin, Ulrich Mescheder, Inna V. Gnidina, Alexey Ivanov Investigation of plastic electrode tools for electrochemical machining of silicon
Michael Metzger, Vanessa Schenk, Alexander Konrad, Jan Brunner, Victoria Radun, Sabrina Hajek, Alfred J. Meixner, Andreas Modler, Dieter Stoll, Volker Bucher, Marc Brecht Kompakter optischer Hybridsensor für Brechungsindexmessungen
Vera Rech, Ramona Draxler, Volker Bucher, Boris Hofmann Neurotransmitterdetektion in vivo – Anwendung elektrochemischer Messverfahren
Vera Rech, Ramona Draxler, Volker Bucher, Boris Hofmann Neurotransmitterdetektion in vivo – Anwendung elektrochemischer Messverfahren: Teil 2
Vera Rech, Ramona Draxler, Volker Bucher, Boris Hofmann Neurotransmitterdetektion in vivo – Anwendung elektrochemischer Messverfahren: Teil 3
Vera Rech, Ramona Draxler, Volker Bucher, Boris Hofmann Neurotransmitterdetektion in vivo – Anwendung elektrochemischer Messverfahren: Teil 4
Alvaro O. Pérez, Vera Kallfaß-de Frenes, Alexander Filbert, Janosch Kneer, Benedikt Bierer, Pirmin Held, Philipp Klein, Jürgen Wöllenstein, Dirk Benyoucef, Sigrid Kallfaß, Ulrich Mescheder, Stefan Palzer Odor-Sensing System to Support Social Participation of People Suffering from Incontinence
Johannes Maisch, Farhad Jafarli, Thomas Chassé, Felix Blendinger, Alexander Konrad, Michael Metzger, Alfred J. Meixner, Marc Brecht, L. Dähne, Hermann A. Mayer One-pot synthesis of micron partly hollow anisotropic dumbbell shaped silica core–shell particles
Andras Kovacs, Ulrich Mescheder PSi-based Diffusion Membranes
Michael Banghard, Christian Freudigmann, Kamel Silmy, Alfred Stett, Volker Bucher Plasma treatment on novel carbon fiber reinforced PEEK cages to enhance bioactivity
Shervin Keshavarzi, Ulrich Mescheder, Holger Reinecke Room Temperature Si–Si Direct Bonding Technique Using Velcro-Like Surfaces
Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder Surface Micromachining (Sacrificial Layer) and Its Applications in Electronic Devices

2015

Ulrich Mescheder, Andras Kovacs, Wolfgang Kronast, Bernhard Müller, Alexey Ivanov Adaptiver optischer Filter bzw. spektral einstellbare Lichtquelle
Frederico Lima, Holger Reinecke, Ulrich Mescheder Adhesion of Continuous and Homogeneous Electrodeposited Copper Layers on Silicon
Christine Härtel, Dorothee Maier, Astrid Wagner, Volker Bucher Atmosphärendruckplasma in der Medizintechnik Teil 2
Christine Härtel, Dorothee Maier, Astrid Wagner, Volker Bucher Atmosphärendruckplasma in der Medizintechnik Teil 3
Christine Härtel, Dorothee Maier, Astrid Wagner, Volker Bucher Atmosphärendruckplasma in der Medizintechnik Teil 4
Christine Härtel, Dorothee Maier, Astrid Wagner, Volker Bucher Atmosphärendruckplasma in der Medizintechnik Teil 5
Christine Härtel, Dorothee Maier, Astrid Wagner, Volker Bucher Atmosphärendruckplasma in der Medizintechnik Teil 6
Shervin Keshavarzi, Ulrich Mescheder, Holger Reinecke Bonding Mechanism in the Velcro Concept Si-Si Low Temperature Direct Bonding Technique
Isman M. Khazi, Ulrich Mescheder, Zohaib Siddiqui Characterization of the influence of Sodium-Lauryl-Sulfate on the surface quality of electrodeposited Nickel-Cobalt alloys
Ulrich Mescheder, Isman M. Khazi Corner rounding of sharp silicon punching tool edges by local oxidation of silicon
Victoria Radun, Rene P. von Metzen, T. Stieglitz, Volker Bucher, Alfred Stett Evaluation of adhesion promoters for Parylene C on gold metallization
Michael Banghard, Kamel Silmy, Rene P. von Metzen, Volker Bucher Korrosionsschutz von Edelstahl mit neuartigem Schichtdesign
Paul Walden, Janosch Kneer, Stefan Knobelspies, Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder, Stefan Palzer Micromachined Hotplate Platform for the Investigation of Ink-Jet Printed, Functionalized Metal Oxide Nanoparticles
Wolfgang Kronast, Volker Lange, Rolf Huster, Ulrich Mescheder Optische Charakterisierung von Stress-relaxierten aktiven MOEMS-Membranspiegeln mit großer Apertur
Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder Primary Current Distribution Model for Electrochemical Etching of Silicon Through a Circular Opening
Andras Kovacs, Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder Refractometer Using Photonic Crystals for Fermentation Process Characterization
Isman M. Khazi, Ulrich Mescheder Self-aligning micro punch-die tool-system for high precision blanking of thin metal foils
Surjitsinh Chauhan, Bernhard Müller, Ulrich Mescheder Simulation, Fabrication and Characterization of Robust Vibrational Energy Harvester
Isman M. Khazi, Ulrich Mescheder Surface polishing of rough (110) silicon plane by HNA etching resulting from wet anisotropic KOH etching
Andras Kovacs, Philipp Maurer, Ulrich Mescheder Temperatureinfluss auf die Peakposition bei verschiedenen Umgebungsmedien in Porösen Silizium Multilayerschichten
Andras Kovacs, Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder Tunable Narrow Band Porous Photonic Crystals for MOEMS Based Scanning Systems
Astrid Wagner, Dagmar Martin, Volker Bucher Untersuchung des Einflusses der Reinigung und Oberflächenvorbehandlung von Edelstahloberflächen auf die Haftung von Silikonspritzgussmassen

2014

Rene P. von Metzen, Wilfried Nisch, Michael Weinmann, Volker Bucher, Alireza Gharabaghi, Saravanan Subramaniam, Thilo Krueger, Rainer Mohrlock, Karl-Heinz Boven, Alfred Stett A Flexible, Wireless Intracranial ECoG Recording System - Incrimp
Rui Zhu, Ulrich Mescheder, Frederico Lima Actuation concept for miniaturized tactile systems
Shervin Keshavarzi, Ulrich Mescheder, Holger Reinecke Characterisation and simulation of low temperature Si-Si direct bonding through velcro-like surfaces based on porous silicon
Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder, Bernhard Müller, Rolf Huster Development of a focusing micromirror device with an in-plane stress relief structure in silicon-on-insulator technology
Frederico Lima, Ulrich Mescheder, Holger Reinecke Electrochemical Impedance Spectroscopy of n-Si(100) Pre-etched by KOH or BHF
Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder, Peter Woias Finite-Elements Simulation of Etch Front Propagation in Silicon Electropolishing Process
Ulrich Mescheder Forschungsgebiet Mikrosystemtechnik im Forschungsschwerpunkt Smart Systems
Alfred Stett, Gordon Link, Rene P. von Metzen, Volker Bucher, Martin Stelzle, Andreas Pojtinger, Katharina Schneider, Dieter Mintenbeck, Daniel Rossbach, Harald Richter, Moustafa Nawito, Karl-Heinz Boven, Andreas Möller, Christoph Jeschke, Jens Pätzold, Thorsten Göttsche, Oliver Bludau, Nora Haas, Dana Tompkins, Timo Lebold, Martin Kokelmann Implantable Electrochemical Biosensor Capsule
Ulrich Mescheder, Isman M. Khazi, Andras Kovacs, Alexey Ivanov MOEMS based concept for miniaturized monochromators, spectrometers and tunable light sources
Frederico Lima, Ulrich Mescheder, Holger Reinecke Maskless Selective Electrodeposition on Silicon
Laszlo Becsi, Thomas Bier, Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder, Dirk Benyoucef Miniaturisiertes Impulslärm-Dosimeter zur Untersuchung und Vermeidung von Gehörschädigungen bei Menschen
Nigol Kaste, Alexander Filbert, Ulrich Mescheder, Toomas Rang, Galina Rang Process Development For 3D Laser Lithography
Ulrich Mescheder, Isman M. Khazi, Andras Kovacs, Alexey Ivanov Tunable optical filters with wide wavelength range based on porous multilayers
Volker Bucher Wohin geht für die Medizintechnik die Reise?

2013

Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder, Bernhard Müller Developement of stress relief suspensions for micro-machined silicon membranes
Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder, Bernhard Müller, Rolf Huster Development of a focusing micromirror device with an in-plane stress relief structure in SOI technology
Andras Kovacs, Aina Malisauskaite, Ulrich Mescheder Einfluss der Morphologie auf die Sensitivität eines photonischen Biosensors
Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder, Bernhard Müller, Rolf Huster Entwicklung einer Stressausgleichsstruktur für spannungsarme aktive Membranspiegel in SOI Technologie
Laszlo Becsi, Dirk Benyoucef, Thomas Bier, Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder Entwicklung eines Impulslärm-Dosimeters zur Untersuchung von Gehörschädigungen bei Menschen
Shervin Keshavarzi, Ulrich Mescheder, Holger Reinecke Modeling the adhesion between nanoneedle surfaces bonded based on Velcro or Gecko principle
Andras Kovacs, Aina Malisauskaite, Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder, Rainer Wittig Optical sensing and analysis system based on porous layers
Andras Kovacs, Aina Malisauskaite, Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder Portable Optical Sensor Using Tunable Optical Multilayers
Ulrich Mescheder, Qingyun Gu, Bernhard Müller Preiswerter und robuster Harvester für Vibrationsenergie
Rui Zhu, Aina Malisauskaite, Ulrich Mescheder, Ulrike Wallrabe Proof of Concept and Properties of Micro Hydraulic Displacement Amplifier
Andras Kovacs, Wolfgang Kronast, Alexander Filbert, Ulrich Mescheder Transport in Surface Passivated Porous Silicon Membranes

2012

Shervin Keshavarzi, Ulrich Mescheder, Holger Reinecke, Andras Kovacs Contact Mechanics and Needle Like Surfaces for Micro-Nano Integration
Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder Dynamic Simulation of Electrochemical Etching of Silicon with COMSOL
S. Hildering, Laszlo Becsi, U. Engel, M. Merklein, Ulrich Mescheder Experimental investigations on high-precision microcutting of copper foils with microfabricated silicon punches
Michael Weinmann, Wilfried Nisch, Alfred Stett, Volker Bucher Flexible Verkapselungsschichten für elektrisch aktive Mikroimplantate
Michael Weinmann, Wilfried Nisch, Alfred Stett, Volker Bucher Langzeitstabile Verkapselungsschichten mit integriertem Feuchtesensor für aktive Mikroimplantate
Volker Bucher Mechatronik: Medizintechnik an den Grenzen des Möglichen; Blinde sehen, Lahme gehen
Ulrich Mescheder, Antwi Nimo, Bernhard Müller, Awad S. Abou Elkeir Micro harvester using isotropic charging of electrets deposited on vertical sidewalls for conversion of 3D vibrational energy
Thomas Bruns, Laszlo Becsi, Ulrich Mescheder, Herbert Schneckenburger Microfluidic system for single cell sorting based on deflection by optical tweezers
Volker Bucher NMI Reutlingen - anwendungsoptimierte Oberflächen für die Medizintechnik
Andras Kovacs, Alexey Ivanov, Aina Malisauskaite, Ulrich Mescheder Oberflächenstabilisierung nanostrukturierter poröser Siliziumschichten für sensorische Anwendungen
Frederico Lima, Ulrich Mescheder, Holger Reinecke Simulation of Current Density for Electroplating on Silicon Using a Hull Cell
S. Hildering, Laszlo Becsi, M. Merklein, Ulrich Mescheder Tranciatura ad alta precisione con punzoni in silicio
Andras Kovacs, Ulrich Mescheder Transport mechanisms in nanostructured porous silicon layers for sensor and filter applications

2011

Antwi Nimo, Ulrich Mescheder, Bernhard Müller, Awad S. Abou Elkeir 3D capacitive vibrational micro harvester using isotropic charging of electrets deposited on vertical sidewalls
Antwi Nimo, Ulrich Mescheder, Bernhard Müller, Awad S. Abou Elkeir A device for 3D energy harvesting
Andras Kovacs, Ulrich Mescheder Herstellung und Charakterisierung perforierter und poröser Membranmodulen für Mikro- und Nanofiltration
Alexey Ivanov, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder High quality 3D shapes by silicon anodization
Volker Lange, Frederico Lima, Dietrich Kühlke Multicolour LED in luminescence sensing application
Prasad Jonnalagadda, Ulrich Mescheder, Andras Kovacs, Antwi Nimo Nanoneedles based on porous silicon for chip bonding with self assembly capability
Ting Yuan, Ulrich Mescheder, Wolfgang Kronast, Changlong Wang Optimization of Deformation Shape of an Active Electro-Optical Focusing Device
Andras Kovacs, Prasad Jonnalagadda, Ulrich Mescheder Optoelectrical detection system using porous silicon-based optical multilayers
Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder Silicon Electrochemical Etching for 3D Microforms with High Quality Surfaces

2010

Antwi Nimo, Ulrich Mescheder 3-D capacitive vibrational harvester for autonomous low power sensors
Volker Bucher, Wilfried Nisch Beschichtungen für Life Science: Vakuumbeschichtungstechnik und Plasmabehandlung von Mikrosystemen in Medizintechnik, Pharmaforschung und Biologie
Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder, Bernhard Müller, Antwi Nimo, Claus Braxmaier, Thilo Schuldt Development of a tilt actuated micromirror for applications in laser interferometry
Awad Saad, Ulrich Mescheder, Bernhard Müller, Antwi Nimo High eficient, low cost electret charging set-up for mems based energy harvesting systems
Thomas Bruns, Laszlo Becsi, Marc Talkenberg, Michael Wagner, Petra Weber, Ulrich Mescheder, Herbert Schneckenburger Microfluidic system for single cell sorting with optical tweezers
Frederico Lima, Volker Lange, Sergey Borisov, Dietrich Kühlke Multicolor LED-based temperature and O2-pressure sensor
Alexey Ivanov, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder Nasschemisches Ätzen von nahezu beliebigen 3D-Strukturen in Silizium
Ulrich Mescheder, Prasad Jonnalagadda, Andras Kovacs, X. Meng Optischer Biosensor mittels selbstorganisierter nanostrukturierte Multilayerschichten
Andras Kovacs, Ulrich Mescheder, Prasad Jonnalagadda, X. Meng Optisches Messsystem für biosensorische Anwendungen
Volker Bucher Plasmaunterstützte chemische Dampfphasenabscheidung
Volker Bucher Substratwerkstoffe für die dekorative vakuumtechnische Beschichtung
Simon Ressel, Martin Gohlke, Dominik Rauen, Thilo Schuldt, Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder, Ulrich Johann, Dennis Weise, Claus Braxmaier Ultrastable assembly and integration technology for ground- and space-based optical systems

2009

Andras Kovacs, Prasad Jonnalagadda, X. Meng, Ulrich Mescheder Characterization of porous silicon based optical sensor system for biosensor applications
Herbert Schneckenburger, Rainer Börret, Claus Braxmaier, Rudolf Kessler, Petra Kioschis, Dietrich Kühlke, Ulrich Mescheder, Werner Schröder, Christoph Nachtigall Dem Energiestoffwechsel von Tumorzellen und Bioreagenzien auf der Spur
Andras Kovacs, Prasad Jonnalagadda, X. Meng, Ulrich Mescheder Entwicklung und Charakterisierung von photonischen Multischichten aus porösem Silizium für biosensorische Anwendungen
Andras Kovacs, Dirk Meister, Ulrich Mescheder Investigation of humidity adsorption in porous silicon layers
Ulrich Mescheder, Andras Kovacs, Jutaphorn Kritwattanakhorn, Bernhard Müller, Marie-Luise Bauersfeld, Sven Rademacher, Jürgen Wöllenstein, Christoph Ament, Andreas Peter Mikrostrukturierter Sensorarray zur Luftqualitätsmessung (MOSEL)
Ulrich Mescheder, Andras Kovacs, Prasad Jonnalagadda, Antwi Nimo Nanostrukturierte Siliziumoberflächen für Mikro-Nano-Integration
Alexey Ivanov, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder, S. Kuhn, M. Kübler, A. Burr Optimisation of Surface Quality of 3D Silicon Master Forms for Injection Molding of Optical Micro Elements
Ulrich Mescheder, Bernhard Müller, Safi Baborie, P. Urbanovic Properties of SiO2 electret films charged by ion implantation for MEMS-based energy harvesting systems
Ulrich Mescheder, Andras Kovacs, Prasad Jonnalagadda, Antwi Nimo Selbstjustierendes Bondverfahren unter Verwendung nanostrukturierter Oberflächen
Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder, Rolf Huster Stressuntersuchung und Optimierung von SOI basierten Membranen

2008

Ulrich Mescheder, P. Urbanovic, Bernhard Müller, Safi Baborie Charging of SiO2 Electret Film by Ion Implantation for MEMS Based Energy Harvesting Systems
Adam Kovacs, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder Estimation of elasticity modulus and fracture strength of thin perforated SiN membranes with finite element simulations
Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder, M. Kröner, Peter Woias Formation of Arbitrarily Shaped 3D-Forms in Silicon by 315 Electrochemical Wet-Etching
HFU Forscher top
Volker Bucher, Diethard Kapp-Schwoerer Mikrostrukturierte Diamond-Like-Carbon-Schichten (DLC) in Kombination mit Galvanikschichten
T. Hellmuth, Konstantin Khrennikov, Wolfgang Kronast, Rolf Huster, Ulrich Mescheder Optimisation and characterisation of parabolic membrane mirrors
Volker Bucher Plasma-Beschichtungen für die Medizin-Technik und den Life-Science-Bereich
Volker Bucher, Diethard Kapp-Schwoerer Plasmabeschichtung in der Mikrotechnik

2007

Daniela Kögler, Rolf Huster, Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder Aufbau- und Verbindungstechnik für ein mikrooptisches System
Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder, Andras Kovacs, Rolf Huster Einfluss unterschiedlicher Passivierungsschichten auf die Bildungsrate von porösem Silizium an Strukturkanten bei der 3DFormherstellung
Ulrich Mescheder, Marie-Luise Bauersfeld, Andras Kovacs, Jutaphorn Kritwattanakhorn, Bernhard Müller, Andreas Peter, Christoph Ament, Sven Rademacher, Jürgen Wöllenstein MEMS-Based Air Quality Sensor
Andras Kovacs, Adam Kovacs, M. Pogany, Ulrich Mescheder Mechanical investigation of perforated and porous membranes for micro- and nanofilter applications
Andreas Peter, Christoph Ament, Marie-Luise Bauersfeld, Sven Rademacher, Jürgen Wöllenstein, Jutaphorn Kritwattanakhorn, Andras Kovacs, Bernhard Müller, Ulrich Mescheder Modellbasierte Verfahren zur Bestimmung der Luftgüte
Volker Bucher Novel Decorative Color Coatings Using Plasma Deposition
Ulrich Mescheder, Rolf Huster, Wolfgang Kronast, Thomas Hellmuth, Konstantin Khrennikov Optimierung und Charakterisierung eines Membranspiegels zur dynamischen Fokussierung
Jutaphorn Kritwattanakhorn, Marie-Luise Bauersfeld, Andras Kovacs, Bernhard Müller, Ulrich Mescheder, Sven Rademacher, Jürgen Wöllenstein Optimization of platinum adhesion in electrochemical etching process for multi-sensor systems
Andras Kovacs, Bernhard Müller, Jutaphorn Kritwattanakhorn, Ulrich Mescheder, Andreas Peter, Christoph Ament, Jürgen Wöllenstein, Marie-Luise Bauersfeld, Sven Rademacher Sensor system for air quality measurement

2006

Rolf Huster, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder 3-D Micro Free-Form Manufacturing in Silicon: Micro Free- Form Production for Plastics Moulding Technology
Ulrich Mescheder, Zoltan Torok, Wolfgang Kronast Active focusing device based on MOEMS technology
Volker Bucher DLC-Schichten als Ersatz für Chromschichten
Ulrich Mescheder, Carlos Estan, Gergoe Somogyi, Markus Freudenreich Distortion optimized focusing mirror device with large aperture
Adam Kovacs, Zsolt Vizvary, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder Large Defection Analysis of Perforated Silicon Nitride Membranes
Volker Bucher Neuartige dekorative Farbschichten durch Plasma-Beschichtung
Jutaphorn Kritwattanakhorn, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder, Bernhard Müller, Marie-Luise Bauersfeld, Sven Rademacher, Jürgen Wöllenstein Optimization of platinum adhesion in electrochemical etching process for multi-sensor systems
Andras Kovacs, M. Pogany, Ulrich Mescheder, Adam Kovacs Realization and mechanical investigation of perforated and porous membranes for filter applications

2005

Christoph Ament, Marie-Luise Bauersfeld, Andras Kovacs, Jutaphorn Kritwattanakhorn, Ulrich Mescheder, Bernhard Müller "Single chip"-Sensorarray zu Luftqualitätsmessung
Rolf Huster, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder 3-D Micro Free-Form Manufacturing in Silicon Micro-Free- Form Production for Plastics Moulding Technology
Ulrich Mescheder, Andras Kovacs 3D-Mikrostrukturierungsverfahren: von kristallinem Silizium mit lokal einstellbarem Anisotropiefaktor
Ulrich Mescheder, Markus Freudenreich Charakterisierung eines bi-stabilen Schalters mit großem Schaltweg und einstellbaren Haltekräften
Ulrich Mescheder, Carlos Estan, Gergoe Somogyi, Markus Freudenreich MOEMS focusing device with ideal parabolic deflection shape
Ulrich Mescheder, Gergoe Somogyi, Markus Freudenreich, Carlos Estan Mikrotechnisch hergestellter Membranspiegel für aktive Fokussierung
Andreas Peter, Christoph Ament, Marie-Luise Bauersfeld, Sven Rademacher, Jürgen Wöllenstein, Andras Kovacs, Jutaphorn Kritwattanakhorn, Bernhard Müller, Ulrich Mescheder Neuartiger Mikrosensor zur Luftgütemessung mit kombiniertem Feuchte- und Gassensor
Ulrich Mescheder, Andras Kovacs, Roland Schneider Optische Penmaus mit Bluetooth

2004

Mark Herding, Gergoe Somogyi, Ulrich Mescheder, Peter Woias A new micromachined optical fiber switch for instrumentation purposes
Wolfgang Kronast, Aritz J. Laskurain, Ulrich Mescheder Das Rasterkraftmikroskop (AFM) zur Charakterisierung und Strukturierung im Nanometerbereich
Ulrich Mescheder Mikrosystemtechnik : Konzepte und Anwendungen
Christoph Nachtigall, Ulrich Mescheder Movement giver having body with after-glowing surface
Ulrich Mescheder Nanoporous Silicon: Multifunctional Material for Microsystems
Ulrich Mescheder, Wolfgang Kronast, N. Naychuk Reliability investigations in micromechanical devices
Markus Freudenreich, Ulrich Mescheder, Gergoe Somogyi Simulation and realization of a novel micromechanical bi-stable switch

2003

Markus Freudenreich, Ulrich Mescheder, Gergoe Somogyi Design Consideration and Realization of a Novel Micromechanical Bi-Stable Switch
S. Bauerdick, Claus J. Burkhardt, R. Rudorf, W. Barth, Volker Bucher, Wilfried Nisch In-situ monitoring of electron beam induced deposition by atomic force microscopy in a scanning electron microscope
Ulrich Mescheder Modern Silicon-based MEMS Technology
Alfred Stett, Volker Bucher, Claus J. Burkhardt, U. Weber, Wilfried Nisch Patch-clamping of primary cardiac cells with micro-openings in polyimide films
Ulrich Mescheder Porous Silicon: Technology and Applications for Micromachining and MEMS
P. Fürjes, Andras Kovacs, Cs. Dücsö, Maria Adam, Bernhard Müller, Ulrich Mescheder Porous silicon-based humidity sensor with interdigital electrodes and internal heaters

2002

Ulrich Mescheder, Andras Kovacs, A. Fahad, Rolf Huster 3D structuring of c-Si using porous silicon as sacrificial material
Volker Bucher, Jürgen Brugger, Dieter Kern, Gyu M. Kim, Markus Schubert, Wilfried Nisch Electrical properties of light-addressed sub-μm electrodes fabricated by use of nanostencil technology
Ulrich Mescheder, M. Alavi, K. Hiltmann, Ch. Lietzau, Christoph Nachtigall, H. Sandmaier Local laser bonding for low temperature budget
Ulrich Mescheder, Wolfgang Kronast, N. Naychuk Reliability Investigations in Micromechanical Devices
Volker Bucher Untersuchungen zur Realisierung einer lichtadressierten elektrischen Kontaktierung elektrogener Zellen mit in sub-μm-Dimension frei wählbarem Ort

2001

Volker Bucher, Bernhard Brunner, Cornelia Leibrock, Markus Schubert, Wilfried Nisch Electrical properties of a light addressable microelectrode chip with high electrode density for extracellular stimulation and recording of excitable cells
Volker Bucher, Markus Schubert, Dieter Kern, Wilfried Nisch Light-addressed sub-μm electrodes for extracellular recording and stimulation of excitable cells
Ulrich Mescheder, M. Alavi, K. Hiltmann, Ch. Lizeau, Christoph Nachtigall, H. Sandmaier Local Laser Bonding for Low Temperature Budget
Christoph Nachtigall, Ulrich Mescheder Movement giver
Ulrich Mescheder, Andras Kovacs, Wolfgang Kronast, Istvan Barsony, Maria Adam, Cs. Dücsö Porous silicon as multifunctional material in MEMS
Andras Kovacs, Ulrich Mescheder Surface Micromachining Process for C-Si as Active Material

2000

Christoph Nachtigall, Ulrich Mescheder Bewegungsgeber
Ulrich Mescheder Mikrosystemtechnik : Konzepte und Anwendungen
M. Reichardt, Ulrich Mescheder, Nagy Nosseir Simulation of a Micro-Fabricated Inclinometer

1999

Volker Bucher, Michael Graf, Martin Stelzle, Wilfried Nisch Low-impedance thin-film polycrystalline silicon microelectrodes for extracellular stimulation and recording
Ulrich Mescheder, Christiane Kötter Optical monitoring and control of Si wet etching

1998

Ulrich Mescheder, Christiane Kötter Optical monitoring and control of Si wet etching
Ulrich Mescheder, C. Kötter, E. Kolguin, A. Oukhov Optische Insitu-Prozesskontrolle beim anisotropen Ätzen von Si-Membranen
Ulrich Mescheder, Christiane Kötter, B. Katzenstein Piezoelectric Inch Worm Motor with Monolithically Integrated Driving Block

1997

Volker Bucher Herstellung und Charakterisierung von Dünnschicht-Mikroelektroden mit herkömmlichem und porösem Polysilizium
Ulrich Mescheder, S. Majer Micromechanical inclinometer

1996

Ulrich Mescheder, S. Majer, R. Keller 2-Achsen Si-Neigungssensor: Simulation und Realisierung
Ulrich Mescheder, S. Majer Mikromechanischer Neigungssensor für industrielle Anwendungen
E. A. Kolgin, I. A. Tumanov, A. A. Ukhov, Ulrich Mescheder Photometric device for control of micromechanical elements manufacturing

1995

S. Majer, Ulrich Mescheder Konzept eines planaren 2-Achsen Silizium Neigungssensors
S. Majer, Ulrich Mescheder Simulation supported design of micromechanical sensors
S. Majer, Ulrich Mescheder Simulation supported design of micromechanical sensors

1991

L.-M. Buchmann, Ulrich Mescheder, M. Torkler Characterization of silicon open stencil masks in an ion projection lithography machine
M. Zander, Ulrich Mescheder Maskenmetrologie: Anforderungen und Trends

1990

Ulrich Mescheder, U. Mackens, H. Lifka, R. Dammel, G. Pawloski, J. Theis Application of positive and negative tone x-ray resist for 0.5μm CMOS device fabrication
H. Schaffer, Ulrich Mescheder, U. Weigmann, H.-C. Petzold Influence of X-ray mask repair on pattern placement accuracy
H. Lüthje, A. Bruns, H. Harms, I. Köhler, Ulrich Mescheder, U. Mackens, T. Stuck X-ray mask technology: Precise etching of sub-half-micron tungsten absorber features

1989

U. Mackens, Ulrich Mescheder, F. Mund, H. Lüthje, H. Lifka, C.A.H. Juffermans, P.H. Woerlee, A.J. Walker Fabrication of 0.5 μm NMOS-devices by all level X-ray lithography
Ulrich Mescheder, U. Mackens, F. Mund Investigation Of Linewidth Uniformity In X-Ray Lithography
U. Mackens, Ulrich Mescheder, H. Lüthje Röntgenstrahllithographie: Herstellung einer 0.5 μm Schaltung und Overlayuntersuchungen
S. Pongratz, Ulrich Mescheder, Ch. Ehrlich, H.-L. Huber, K. Kohlmann, W. Windbracke State of the art of pattern placement accuracy of silicon X-ray master masks
Ulrich Mescheder, K. Werner Submikrometer Linienbreitenmetrologie hoher Genauigkeit

1988

U. Mackens, H. Lüthje, Ulrich Mescheder, F. Mund, S. Pongratz Application Of Sic-X-Ray Masks For Fabricating Sub-Micron Devices
H.-L. Huber, S. Pongratz, J. Trube, W. Windbracke, Ulrich Mescheder, F. Mund Sub‐half‐micron critical dimension control in x‐ray lithography mask technology

1987

Ulrich Mescheder, F. Mund, H.-L. Huber Linewidth metrology for x-ray masks with subhalfmicron feature size

1986

H. Betz, H.-L. Huber, S. Pongratz, W. Rohrmoser, W. Windbracke, Ulrich Mescheder Silicon X-ray masks: Pattern placement and overlay accuracy
H. Lüthje, U. Mackens, Ulrich Mescheder, B. Matthießen Stability of SiC-masks for high resolution synchrotron X-ray lithography

1985

Ulrich Mescheder, G. Weiser Optical study of space charge injection in plasma deposited a-Si:H

1984

Ulrich Mescheder, G. Weiser Electro‐optical effects on the absorption edge of a‐Si:H