F-safe

In der Industrie kommen heute verbreitet Plasmaprozesse zum Einsatz, die fluorhaltige Gase für die Reinigung, Strukturierung oder Beschichtung von Oberflächen nutzen und mangels geeigneter Luftreinigungstechniken als Fluorkohlenwasserstoffe (FKW) in die Atmosphäre emittieren. FKW sind aufgrund ihres gegenüber CO2 vielfach größeren Treibhauspotenzials sehr klimaschädlich.

Um diese Emissionen zukünftig sicher zu vermeiden, soll im Projekt eine neuartige Plasmaanlage für fluorprozessierte Ätz- und Beschichtungsverfahren entwickelt werden, welche FKW weder als Prozessgase verbraucht noch emittiert. Dafür wird im Vorhaben ein neuartiger, kreislaufgeführter Plasmaprozess verfolgt, in dem die reaktiven Fluorverbindungen aus Feststoffen erzeugt, für die Oberflächenbehandlung verwendet und danach vollständig wiederverwendbar aus dem Prozessgas abgeschieden werden.

Die Arbeiten an der Hochschule Furtwangen konzentrieren sich im Teilvorhaben auf die Erforschung spezifischer Ätzverläufe fluorhaltiger Prozessgase, die KI-gestützte Regelung der Prozessatmosphäre anhand der optischen Plasmaspektren, die Ermittlung substratspezifischer Prozessanforderungen sowie die Bewertung plasmageätzter Oberflächen.