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Neuartige Plasmatechnologie für den Ausschluss klimaschädlicher Fluorkohlenwasserstoff-Emissionen in industriellen Trockenätzprozessen

Plasmagestützte Ätzprozesse sind wichtige Fertigungsschritte in der Leiterplattenherstellung und Halbleiterfertigung. Häufig werden dabei jedoch Fluorkohlenwasserstoffe (FKW) als Prozessgase eingesetzt und mit der Abluft emittiert. FKW werden aufgrund ihrer hohen Treibhauspotenziale als besonders klimaschädlich eingestuft.

Ziel des Projekts ist es, den Prozess des Plasmaätzens umwelt- bzw. klimafreundlich zu gestalten. Am Beispiel von Referenzanwendungen aus der Leiterplattenherstellung sollen sowohl der Nachweis über die Realisierbarkeit eines effizienten, FKW-emissionsfreien Plasmaätzprozesses als auch die Funktionsfähigkeit einer entsprechenden integrierten Anlagenlösung erbracht werden.

Die Arbeiten an der Hochschule Furtwangen konzentrieren sich im Teilvorhaben auf die Erforschung spezifischer Ätzverläufe fluorhaltiger Prozessgase, die Validierung plasmaspezifischer Ausprägungen der optischen Plasmaspektren, die Grundlagen zur Regelung des Ätzplasmas, die Ermittlung substratspezifischer Prozessanforderungen sowie die Bewertung plasmageätzter Oberflächen.

Projektpartner

plasma technology GmbH
Hochschule Furtwangen

Förderung

Das Projekt wird im Rahmen der Fördermaßnahme KMU-innovativ vom BMBF gefördert, FKZ 01LY19158.

PlasmaKlient (I23360-1)
PlasmaKlient (I23360-2)
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