Technologielabor für Nano- und Mikrosysteme

Die Aufgabenbereiche des Technologielabors für Nano- und Mikrosysteme umfassen die praktische Ausbildung von Studierenden, die wissenschaftliche Arbeit von Promovierenden und die Forschung zu anwendungsbezogenen Fragestellungen. Das Labor verfügt über hochwertige Anlagentechnik zur Bearbeitung von Strukturen bis in den Nanometerbereich, dazu werden partikelarme Reinräume auf einer Fläche von über 300 m² bereitgestellt.

Raum

B 1.19, B 0.97 Furtwangen

Vom Praktikum über eine Anstellung als Hilfskraft bis hin zur Abschlussarbeit – für Studierende der Studiengänge Smart Systems und Mikromedizin gibt es viele Angebote und Möglichkeiten, praktische Fähigkeiten und vertiefte Grundlagen der Mikrosystemtechnik im Labor zu erlernen.

Viele unserer ehemaligen Studierenden arbeiten als Projektmitarbeiter in drittmittelfinanzierten Forschungsprojekten. Nach dem Studium kann außerdem mit einer Promotion eine wissenschaftliche Karriere gestartet werden.

Im Rahmen von Verbundprojekten arbeiten wir eng mit Unternehmen und anderen Forschungseinrichtungen zusammen. Unsere Forschungsarbeiten sind im Institut für Mikrosystemtechnik gebündelt. Hier finden Sie eine Liste der Publikationen und der laufenden Forschungsprojekte.

Dienstleistungen für Forschungskooperationen

  • Technologieberatung
  • Projektplanung und –beantragung
  • Multiphysics - Simulation
  • Systemanalyse / Konzeptvalidierung
  • Prozessentwicklung und –durchführung in der Mikro- und Nanotechnologie
  • Fertigung von Prototypen (Sensoren und Aktoren)
  • Charakterisierung

Unsere Schwerpunkte

  • Mikro- und Nanotechnologie
  • Sensoren und Aktoren (Micro-Electro-Mechanical-Systems, MEMS)
  • Optische Systeme (Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems, MOEMS)
  • Elektrochemische Ätzprozesse / Anodisierung
  • Flexible Elektronik
  • Mikromedizin
  • Intelligente Implantate
  • Embedded Systems
  • 3D Mikrostrukturierung
  • Selbstorganisierte Systeme in der Mikro- und Nanotechnologie