Campus: Furtwangen
Room: B 1.08

Publications

Kovacs, Andras

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2023
Przemyslaw Lopato, Michal Herbko, Ulrich Mescheder, Andras Kovacs	Influence of a thin dielectric layer on resonance frequencies of square SRR metasurface operating in THz band	Open Engineering, 13.2023(1), 2023	BibTeX \| RIS DOI URN
Przemyslaw Lopato, Michal Herbko, Paulina Gora, Ulrich Mescheder, Andras Kovacs, Alexander Filbert	Numerical Analysis of the Influence of Fabrication Process Uncertainty on Terahertz Metasurface Quality	Electronics, 12.2023(10), 2023	BibTeX \| RIS DOI URN
Shervin Keshavarzi, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder	Surface Passivated Porous Silicon-Based Antireflective Coating	MikroSystemTechnik Kongress 2023, 23. - 25. Oktober 2023, Dresden, Germany, 2023	BibTeX \| RIS
2022
Andras Kovacs, Julien Petit, Alexander Filbert, Ulrich Mescheder	Mikro- und Nanotechnologien machen Optik smart	2022	BibTeX \| RIS
Shervin Keshavarzi, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder	Porous Silicon Based Ultra-Band infrared Antireflective and Light absorbing Coating	Porous Semiconductors - Science and Technology 2022, PSST2022, March 27th - April 1st, 2022, Lido di Camaire (Lucca), Italy, 2022	BibTeX \| RIS DOI
2021
Hakan Alaboz, Andras Kovacs, Yasser Safa, Ulrich Mescheder	Development of Cost-Effective Automated Test System for Determining Lifetime of Gold Contacts Under Mechanical Load	MikroSystemTechnik Kongress 2021, 08. - 10. November 2021, Stuttgart-Ludwigsburg, Germany, pp. 738-741, 2021	BibTeX \| RIS 978-3-8007-5656-8,
Isman M. Khazi, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder	Effect of Surface Roughness on the Adhesion of PECVD coated Silicon-Carbide Thin-films on (110) monocrystalline-Silicon wafer	MikroSystemTechnik Kongress 2021, 08. - 10. November 2021, Stuttgart-Ludwigsburg, Germany, pp. 415-418, 2021	BibTeX \| RIS 978-3-8007-5656-8,
Isman M. Khazi, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder, Ali Zahedi, Bahman Azarhoushang	Fusion of Optical and Microfabricated Eddy-Current Sensors for the Non-Destructive Detection of Grinding Burn	Advances in Science, Technology and Engineering Systems Journal, 6.2021(1), pp. 1414-1421, 2021	BibTeX \| RIS DOI URN
Isman M. Khazi, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder	Inductive Transducers with 2D Microcoils in Reflection Differential Transmitter-Receiver Mode for the Micro Non-Destructive Testing of Grinding Burn	The 21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers 2021, 20 - 25 June 2021, online virtual conference, pp. 1202-1205, 2021	BibTeX \| RIS 978-1-6654-1267-4, DOI
2020
Isman M. Khazi, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder, Benjamin Sittkus, Rui Zhu	Kleiner, flexibler, leistungsfähiger	2020	BibTeX \| RIS
2019
Isman M. Khazi, Andras Kovacs, Vaibhav Kumar, Pranav Dhumal, Ulrich Mescheder	Microfabricated 2D planar eddy-current microcoils for the non-destructive testing of grinding burn marks	Non-destructive Testing and Diagnostics, pp. 29-35, 2019	BibTeX \| RIS DOI
Shervin Keshavarzi, Andras Kovacs, Mohammad Abdo, Vlad Badilita, Jan G. Korvink, Ulrich Mescheder	Miniaturized porous silicon rugate filter wheel for multispectral imaging applications	MikroSystemTechnik Kongress 2019 : Mikroelektronik \| MEMS-MOEMS \| Systemintegration – Säulen der Digitalisierung und künstlichen Intelligenz 28. – 30. Oktober 2019 in Berlin, pp. 464-467, 2019	BibTeX \| RIS 978-3-8007-5090-0,
Shervin Keshavarzi, Andras Kovacs, Mohammad Abdo, Vlad Badilita, Rui Zhu, Jan G. Korvink, Ulrich Mescheder	Porous Silicon Based Rugate Filter Wheel for Multispectral Imaging Applications	ECS Journal of Solid State Science and Technology, 8.2019(3), pp. Q43-Q49, 2019	BibTeX \| RIS DOI URN
Shervin Keshavarzi, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder	Porous silicon based antireflection coating for the MWIR range	MikroSystemTechnik Kongress 2019 : Mikroelektronik \| MEMS-MOEMS \| Systemintegration – Säulen der Digitalisierung und künstlichen Intelligenz 28. – 30. Oktober 2019 in Berlin, pp. 487-490, 2019	BibTeX \| RIS 978-3-8007-5090-0,
2017
Dirk Benyoucef, Vera Kallfaß, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder, Stefan Palzer	Mikrosystemtechnische Geruchssensorik und ihre Anwendungen in AAL	Assistive Systeme und Technologien zur Förderung der Teilhabe für Menschen mit Hilfebedarf : Ergebnisse aus dem Projektverbund ZAFH-AAL, Pabst Science Publisher: Lengerich, pp. 51-66, 2017	BibTeX \| RIS 978-3-95853-362-2,
Andras Kovacs, Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder	Schmalbandige photonische Kristalle für Multispektral-Analyse	MikroSystemTechnik Kongress 2017: MEMS, Mikroelektronik, Systeme, 23. – 25. Oktober 2017 in München, pp. 836-839, 2017	BibTeX \| RIS 978-3-8007-4491-6,
2016
Alexey Ivanov, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder	Application of local backside contacts for structuring Of silicon with anodization: simulation and experiments	Procedia Engineering, Vol.168.2016, pp. 1180-1183, 2016	BibTeX \| RIS DOI
Andras Kovacs, Ulrich Mescheder	PSi-based Diffusion Membranes	Porous Silicon: Biomedical and Sensor Applications, Volume Two, Ghenadii Korotcenkov (Ed.)CRC Press: Boca Raton, pp. 279-298, 2016	BibTeX \| RIS 978-1-4822-6456-2,
2015
Ulrich Mescheder, Andras Kovacs, Wolfgang Kronast, Bernhard Müller, Alexey Ivanov	Adaptiver optischer Filter bzw. spektral einstellbare Lichtquelle	2015	BibTeX \| RIS
Volker Lange, Andras Kovacs, Robert Hönl	Laserspektroskopie von Gasen mit Kapillar-Lichtwellenleitern	2015	BibTeX \| RIS
Alexey Ivanov, Isman M. Khazi, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder	Miniaturisiertes Spektrometer für neue Ansätze in der Analytik	2015	BibTeX \| RIS
Andras Kovacs, Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder	Refractometer Using Photonic Crystals for Fermentation Process Characterization	IEEE SENSORS, Busan, 2015, pp. 1363-1366, 2015	BibTeX \| RIS DOI
Andras Kovacs, Philipp Maurer, Ulrich Mescheder	Temperatureinfluss auf die Peakposition bei verschiedenen Umgebungsmedien in Porösen Silizium Multilayerschichten	MEMS, Mikroelektronik, Systeme : proceedings ; MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26.-28. Oktober 2015 in Karlsruhe, pp. 547-550, 2015	BibTeX \| RIS 978-3-8007-4100-7,
Andras Kovacs, Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder	Tunable Narrow Band Porous Photonic Crystals for MOEMS Based Scanning Systems	Procedia Engineering, pp. 811-815, 2015	BibTeX \| RIS DOI
2014
Ulrich Mescheder, Isman M. Khazi, Andras Kovacs, Alexey Ivanov	MOEMS based concept for miniaturized monochromators, spectrometers and tunable light sources	1. Baden-Württemberg Center of Applied Research Symposium on Information and Communication Systems: SInCom 2014; 12. December 2014 in Furtwangen, pp. 38-43, 2014	BibTeX \| RIS 978-3-00-048182-6,
Ulrich Mescheder, Isman M. Khazi, Andras Kovacs, Alexey Ivanov	Tunable optical filters with wide wavelength range based on porous multilayers	Nanoscale Research Letters, p. 427, 2014	BibTeX \| RIS DOI URN
2013
Andras Kovacs, Aina Malisauskaite, Ulrich Mescheder	Einfluss der Morphologie auf die Sensitivität eines photonischen Biosensors	Von Bauelementen zu Systemen : proceedings / Mikrosystemtechnik-Kongress 2013, 14. - 16. Oktober 2013 in Aachen, pp. 818-821, 2013	BibTeX \| RIS 978-3-8007-3555-6,
Andras Kovacs, Aina Malisauskaite, Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder, Rainer Wittig	Optical sensing and analysis system based on porous layers	17th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS), 27-31 October 2013, Freiburg, Germany, pp. 275-277, 2013	BibTeX \| RIS 978-1-63266-624-6,
Andras Kovacs, Aina Malisauskaite, Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder	Portable Optical Sensor Using Tunable Optical Multilayers	Sensors 2013, November 4-6, 2013, Baltimore, Maryland, USA: IEEE; Proceedings, pp. 1691-1694, 2013	BibTeX \| RIS 978-1-4673-4642-9, DOI
Andras Kovacs, Aina Malisauskaite, Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder	Steuerung der Peaklage und der Sensitivität von siliziumbasierten porösen optischen Multischichten	Von Bauelementen zu Systemen : proceedings / Mikrosystemtechnik-Kongress 2013, 14. - 16. Oktober 2013 in Aachen, pp. 185-188, 2013	BibTeX \| RIS 978-3-8007-3555-6,
Andras Kovacs, Wolfgang Kronast, Alexander Filbert, Ulrich Mescheder	Transport in Surface Passivated Porous Silicon Membranes	ECS Transactions, 50.2013(37), pp. 207-216, 2013	BibTeX \| RIS
2012
Shervin Keshavarzi, Ulrich Mescheder, Holger Reinecke, Andras Kovacs	Contact Mechanics and Needle Like Surfaces for Micro-Nano Integration	23rd Micromechanics and Microsystems Europe Workshop: MME 2012, September 9 - 12, Ilmenau, Germany, 2012	BibTeX \| RIS
Andras Kovacs, Alexey Ivanov, Aina Malisauskaite, Ulrich Mescheder	Oberflächenstabilisierung nanostrukturierter poröser Siliziumschichten für sensorische Anwendungen	74. Mikro-Nano-Integration : Beiträge des 4. GMM-Workshops, 12. - 13. November 2012 in Berlin, 2012	BibTeX \| RIS 978-3-8007-3473-3,
Andras Kovacs, Ulrich Mescheder	Transport mechanisms in nanostructured porous silicon layers for sensor and filter applications	Sensors and Actuators B: Chemical, 175.2012(December), pp. 179-185, 2012	BibTeX \| RIS DOI
2011
Andras Kovacs, Ulrich Mescheder	Herstellung und Charakterisierung perforierter und poröser Membranmodulen für Mikro- und Nanofiltration	MikroSystemTechnik - Kongress 2011: 10. - 12. Oktober 2011, Darmstadt, 2011	BibTeX \| RIS 978-3-8007-3367-5,
Alexey Ivanov, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder	High quality 3D shapes by silicon anodization	physica status solidi (a), 208.2011(6), pp. 1383-1388, 2011	BibTeX \| RIS DOI
Prasad Jonnalagadda, Ulrich Mescheder, Andras Kovacs, Antwi Nimo	Nanoneedles based on porous silicon for chip bonding with self assembly capability	physica status solidi (c), 8.2011(6: Special Issue: 7th International Conference on Porous Semiconductors – Science and Technology (PSST 2010) • EnFI 2010 Conference – Engineering of Functional Interfaces), pp. 1841-1846, 2011	BibTeX \| RIS DOI
Ulrich Mescheder, Prasad Jonnalagadda, Andras Kovacs, X. Meng	Optischer Biosensor mittels selbstorganisierter nanostrukturierte Multilayerschichten	2011	BibTeX \| RIS
Andras Kovacs, Prasad Jonnalagadda, Ulrich Mescheder	Optoelectrical detection system using porous silicon-based optical multilayers	IEEE Sensors Journal, 11.2011(10), pp. 2413-2420, 2011	BibTeX \| RIS DOI
2010
Alexey Ivanov, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder	Nasschemisches Ätzen von nahezu beliebigen 3D-Strukturen in Silizium	63. Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops 03.03.2010 - 04.03.2010 in Erfurt, Germany, 2010	BibTeX \| RIS 978-3-8007-3216-6,
Ulrich Mescheder, Prasad Jonnalagadda, Andras Kovacs, X. Meng	Optischer Biosensor mittels selbstorganisierter nanostrukturierte Multilayerschichten	63. Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops 03.03.2010 - 04.03.2010 in Erfurt, Germany, pp. 105-110, 2010	BibTeX \| RIS 978-3-8007-3216-6,
Andras Kovacs, Ulrich Mescheder, Prasad Jonnalagadda, X. Meng	Optisches Messsystem für biosensorische Anwendungen	Sensoren und Messsysteme 2010 : Vorträge der 15. ITG-GMA-Fachtagung vom 18. bis 19. Mai 2010 in Nürnberg, 2010	BibTeX \| RIS 978-3-8007-3260-9,
2009
Andras Kovacs, Prasad Jonnalagadda, X. Meng, Ulrich Mescheder	Characterization of porous silicon based optical sensor system for biosensor applications	IEEE Sensors 2009 Conference, New Zealand, 25-28 October, 2009, Christchurch, New Zealand, pp. 21-26, 2009	BibTeX \| RIS 978-1-4244-4548-6, DOI
Andras Kovacs, Prasad Jonnalagadda, X. Meng, Ulrich Mescheder	Entwicklung und Charakterisierung von photonischen Multischichten aus porösem Silizium für biosensorische Anwendungen	MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009: 12.10.2009 - 14.10.2009 in Berlin, Germany, 2009	BibTeX \| RIS 978-3-8007-3183-1,
Andras Kovacs, Dirk Meister, Ulrich Mescheder	Investigation of humidity adsorption in porous silicon layers	physica status solidi (a), 206.2009(6), pp. 1343-1347, 2009	BibTeX \| RIS DOI
Ulrich Mescheder, Andras Kovacs, Jutaphorn Kritwattanakhorn, Bernhard Müller, Marie-Luise Bauersfeld, Sven Rademacher, Jürgen Wöllenstein, Christoph Ament, Andreas Peter	Mikrostrukturierter Sensorarray zur Luftqualitätsmessung (MOSEL)	Dokumentation zum Forschungstag 2009 "Hochtechnologieforschung": 7. Juli 2009, Kultur- und Kongresszentrum, Liederhalle Stuttgart, p. 169, 2009	BibTeX \| RIS
Ulrich Mescheder, Andras Kovacs, Prasad Jonnalagadda, Antwi Nimo	Nanostrukturierte Siliziumoberflächen für Mikro-Nano-Integration	MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009: 12.10.2009 - 14.10.2009 in Berlin, Germany, 2009	BibTeX \| RIS 978-3-8007-3183-1,
Alexey Ivanov, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder, S. Kuhn, M. Kübler, A. Burr	Optimisation of Surface Quality of 3D Silicon Master Forms for Injection Molding of Optical Micro Elements	MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009: 12.10.2009 - 14.10.2009 in Berlin, Germany, 2009	BibTeX \| RIS 978-3-8007-3183-1,
Ulrich Mescheder, Andras Kovacs, Prasad Jonnalagadda, Antwi Nimo	Selbstjustierendes Bondverfahren unter Verwendung nanostrukturierter Oberflächen	2009	BibTeX \| RIS
Ulrich Mescheder, Andras Kovacs, Prasad Jonnalagadda, Antwi Nimo, David Kauzlaric, Jan Lienemann, Andreas Greiner, Jan Korvink, Markus Freudenreich	Skalierbare Verbindungstechnik mittels anpassbarer nanoskaliger Verbindungsstrukturen (NanoBond)	2009	BibTeX \| RIS
2008
Adam Kovacs, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder	Estimation of elasticity modulus and fracture strength of thin perforated SiN membranes with finite element simulations	Computational Materials Science, 43.2008(1), pp. 59-64, 2008	BibTeX \| RIS DOI
2007
Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder, Andras Kovacs, Rolf Huster	Einfluss unterschiedlicher Passivierungsschichten auf die Bildungsrate von porösem Silizium an Strukturkanten bei der 3DFormherstellung	Mikrosystemtechnik-Kongress 2007 : 15. - 17. Oktober 2007, Dresden, 2007	BibTeX \| RIS 978-3-8007-3061-2,
Ulrich Mescheder, Marie-Luise Bauersfeld, Andras Kovacs, Jutaphorn Kritwattanakhorn, Bernhard Müller, Andreas Peter, Christoph Ament, Sven Rademacher, Jürgen Wöllenstein	MEMS-Based Air Quality Sensor	Transducers '07 Eurosensors XXI : digest of technical papers ; the 14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, June 10-14, 2007, Lyon, France, pp. 1417-1420, 2007	BibTeX \| RIS 1-4244-0841-5, DOI
Andras Kovacs, Adam Kovacs, M. Pogany, Ulrich Mescheder	Mechanical investigation of perforated and porous membranes for micro- and nanofilter applications	Sensors and Actuators B: Chemical, 127.2007(1), pp. 120-125, 2007	BibTeX \| RIS DOI
Andras Kovacs, Adam Kovacs, Marton Pogany, Ulrich Mescheder	Mikrosystemtechnik: Herstellung perforierter und poröser Membranmodule für die Mikro- und Nanofiltration	2007	BibTeX \| RIS
Jutaphorn Kritwattanakhorn, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder, Bernd Müller, Christoph Ament, Andreas Peter, Marie-Luise Bauersfeld, Sven Rademacher, Jürgen Wöllenstein	Mikrosystemtechnik: Sensorarray zur Lufqualitätsmessung	2007	BibTeX \| RIS
Andreas Peter, Christoph Ament, Marie-Luise Bauersfeld, Sven Rademacher, Jürgen Wöllenstein, Jutaphorn Kritwattanakhorn, Andras Kovacs, Bernhard Müller, Ulrich Mescheder	Modellbasierte Verfahren zur Bestimmung der Luftgüte	Mikrosystemtechnik-Kongress 2007 : 15. - 17. Oktober 2007, Dresden, 2007	BibTeX \| RIS 978-3-8007-3061-2,
Jutaphorn Kritwattanakhorn, Marie-Luise Bauersfeld, Andras Kovacs, Bernhard Müller, Ulrich Mescheder, Sven Rademacher, Jürgen Wöllenstein	Optimization of platinum adhesion in electrochemical etching process for multi-sensor systems	Sensors and Actuators B: Chemical, 127.2007(1), pp. 126-131, 2007	BibTeX \| RIS DOI
Andras Kovacs, Bernhard Müller, Jutaphorn Kritwattanakhorn, Ulrich Mescheder, Andreas Peter, Christoph Ament, Jürgen Wöllenstein, Marie-Luise Bauersfeld, Sven Rademacher	Sensor system for air quality measurement	Smart system integration 2007 : Paris, France 27. - 28.03.2007, pp. 519-522, 2007	BibTeX \| RIS 978-3-8007-3009-4,
2006
Rolf Huster, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder	3-D Micro Free-Form Manufacturing in Silicon: Micro Free- Form Production for Plastics Moulding Technology	Galvanotechnik, 97.2006(2), pp. 442-447, 2006	BibTeX \| RIS
Adam Kovacs, Zsolt Vizvary, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder	Large Defection Analysis of Perforated Silicon Nitride Membranes	6th European Solid Mechanics Conference: ESMC 2006; 28 August – 1 September, 2006 Budapest, Hungary, 2006	BibTeX \| RIS
Jutaphorn Kritwattanakhorn, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder, Bernhard Müller, Marie-Luise Bauersfeld, Sven Rademacher, Jürgen Wöllenstein	Optimization of platinum adhesion in electrochemical etching process for multi-sensor systems	XX Eurosensors: 20th Anniversary; Göteborg, Sweden, 17-20 September 2006, pp. 376-377, 2006	BibTeX \| RIS 978-91-631-9280-7,
Andras Kovacs, M. Pogany, Ulrich Mescheder, Adam Kovacs	Realization and mechanical investigation of perforated and porous membranes for filter applications	XX Eurosensors: 20th Anniversary; Göteborg, Sweden, 17-20 September 2006, pp. 392-393, 2006	BibTeX \| RIS 978-91-631-9280-7,
Ulrich Mescheder, Andras Kovacs	Verfahren zur Bildung einer Ausnehmung in der Oberfläche eines Werkstücks, insbesondere zur Herstellung von Mikroformen	2006	BibTeX \| RIS
2005
Christoph Ament, Marie-Luise Bauersfeld, Andras Kovacs, Jutaphorn Kritwattanakhorn, Ulrich Mescheder, Bernhard Müller	"Single chip"-Sensorarray zu Luftqualitätsmessung	Mikrosystemtechnik-Kongress 2005 : 10. bis 12. Oktober 2005 in Freiburg, 2005	BibTeX \| RIS 978-3-8007-2926-5,
Rolf Huster, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder	3-D Micro Free-Form Manufacturing in Silicon Micro-Free- Form Production for Plastics Moulding Technology	Micro system technologies 2005 : International Conference & Exhibition on Micro-, Electro-Mechanical, Opto & Nano Systems, München, October 5 - 6, 2005, 2005	BibTeX \| RIS 3-7723-7040-3,
Ulrich Mescheder, Andras Kovacs	3D-Mikrostrukturierungsverfahren: von kristallinem Silizium mit lokal einstellbarem Anisotropiefaktor	MikroSystemTechnik, pp. 7-9, 2005	BibTeX \| RIS
Ulrich Mescheder, Andras Kovacs, Roland Schneider	Mikrosystemtechnik: Optische Penmaus mit Bluetooth	2005	BibTeX \| RIS
Andreas Peter, Christoph Ament, Marie-Luise Bauersfeld, Sven Rademacher, Jürgen Wöllenstein, Andras Kovacs, Jutaphorn Kritwattanakhorn, Bernhard Müller, Ulrich Mescheder	Neuartiger Mikrosensor zur Luftgütemessung mit kombiniertem Feuchte- und Gassensor	50. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, Technische Universität Ilmenau, 19.-23. September 2005, pp. 273-274, 2005	BibTeX \| RIS 978-3-932633-98-0,
Ulrich Mescheder, Andras Kovacs, Roland Schneider	Optische Penmaus mit Bluetooth	Horizonte, pp. 8-11, 2005	BibTeX \| RIS
2003
P. Fürjes, Andras Kovacs, Cs. Dücsö, Maria Adam, Bernhard Müller, Ulrich Mescheder	Porous silicon-based humidity sensor with interdigital electrodes and internal heaters	Sensors and Actuators B: Chemical, 95.2003(1-3), pp. 140-144, 2003	BibTeX \| RIS DOI
2002
Ulrich Mescheder, Andras Kovacs, A. Fahad, Rolf Huster	3D structuring of c-Si using porous silicon as sacrificial material	Proceedings of the 2002 2nd IEEE Conference on Nanotechnology: IEEE-NAN0 2002; August 26-28, Washington D.C., pp. 33-36, 2002	BibTeX \| RIS 0-7803-7538-6, DOI
Ulrich Mescheder, Andras Kovacs, Bernhard Müller	Sensorik: Porous Silicon Based Humidity Sensor with Interdigital Electrodes and Internal Heaters	2002	BibTeX \| RIS
Ulrich Mescheder, Andras Kovacs, Bernhard Müller, Maria Adam, Istvan Barsony, Csaba Dücsö, Peter Fürjes	Verfahren zur Herstellung von Feuchtesensoren	2002	BibTeX \| RIS
2001
Ulrich Mescheder, Andras Kovacs, Wolfgang Kronast, Istvan Barsony, Maria Adam, Cs. Dücsö	Porous silicon as multifunctional material in MEMS	Proceedings of the 2001 1st IEEE Conference on Nanotechnology : IEEE-NANO 2001 : October 28-30, 2001, Maui, Hawaii, pp. 483-488, 2001	BibTeX \| RIS 0-7803-7215-8, DOI
Andras Kovacs, Ulrich Mescheder	Surface Micromachining Process for C-Si as Active Material	Transducers '01 Eurosensors XV : digest of technical papers / the 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, June 10-14, 2001, Munich, Germany, pp. 620-623, 2001	BibTeX \| RIS 978-3-540-42150-4,
2000
Ulrich Mescheder, Andras Kovacs	Mikrotechnologie: Herstellung von porösem Silizium und seine Anwendungsmöglichkeit in der Sensortechnologie	2000	BibTeX \| RIS
1992
Andras Kovacs, A. Stoffel	Optimierung der Technologie und Herstellung von freitragenden Polysilizium-Membranen	1992	BibTeX \| RIS