Publications

Institut für Mikrosystemtechnik

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2018

Isman Khazi, Ulrich Mescheder, Uma Muthiah 3D free forms in c-Si via grayscale lithography and RIE
Andreas Heid, Lena Bleck, Rene von Metzen, Volker Bucher A demonstrator for a flexible active microelectrode array with high electrode number
Frederico Lima, Almothana Albukhari, Rui Zhu, Ulrich Mescheder Contactless Sleep Monitoring Measurement Setup
Frederico Lima, Ulrich Mescheder, C. Müller, Holger Reinecke Copper electrodeposition on silicon electrodes
Andreas Heid, Marcio C. de Andrade, Rene von Metzen, Jürgen Giehl, Volker Bucher Fabrication of a large area flexible active microelectrode array with more than 1000 recording electrodes
Shervin Keshavarzi, Ulrich Mescheder, Holger Reinecke Formation Mechanisms of Self-Organized Needles in Porous Silicon Based Needle-Like Surfaces
Felix Blendinger, Michael Metzger, Daniel Hähnel, Monika Fleischer, Volker Bucher In situ Prozess-Visualisierung/Optimierung und Anwendung der Atomlagenabscheidung
Frederico Lima, Ulrich Mescheder, Gabor L. Katona, Harald Leiste, Emre Özel, Claas Müller, Holger Reinecke Influence of silicon doping type on the adhesion of seedless electrodeposited copper layers
Michael Metzger, Alexander Konrad, Felix Blendinger, Andreas Modler, Alfred J. Meixner, Volker Bucher, Marc Brecht Low-Cost GRIN-Lens-Based Nephelometric Turbidity Sensing in the Range of 0.1–1000 NTU
Shervin Keshavarzi, Frederico Lima, Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder Sequential Nano-Explosion Using Patterned Porous Silicon

2017

Uma Muthiah, Isman Khazi, Ulrich Mescheder 3D Strukturierung von Silizium mittels Grauwert-Technologie
Shervin Keshavarzi, Wolfgang Kronast, Frederico Lima, Ulrich Mescheder Controlled energy release based on explosive porous silicon
Shervin Keshavarzi, Ulrich Mescheder, Holger Reinecke Effect of Capillary Forces in Room Temperature Si-Si Direct Bonding Technique Using Velcrolike Surfaces
Frederico Lima, Alok Tungal, Isman Khazi, Ulrich Mescheder Galvanisch aus 3D-Fotolack-Strukturen abgeformte metallische 3D-Freiformen
Dirk Benyoucef, Vera Kallfaß, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder, Stefan Palzer Mikrosystemtechnische Geruchssensorik und ihre Anwendungen in AAL
Andreas Heid, Lukas Scheuble, Rene von Metzen, Volker Bucher Prozess zum Transfer und zur Einbettung von kleinen Dies in ein flexibles Foliensystem bei niedrigen Temperaturen
Andras Kovacs, Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder Schmalbandige photonische Kristalle für Multispektral-Analyse

2016

Andreas Heid, Marcio C. de Andrade, Rene P. von Metzen, Volker Bucher, Jürgen Giehl A New Active Flexible High Resolution Micro Electrode Array
Alexey Ivanov, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder Application of local backside contacts for structuring Of silicon with anodization: simulation and experiments
Rui Zhu, Ulrike Wallrabe, Matthias C. Wapler, Peter Woias, Ulrich Mescheder Dielectric electroactive polymer membrane actuator with ring-type electrode as driving component of a tactile actuator
Andreas Heid, Rene P. von Metzen, Alfred Stett, Volker Bucher Examination of dielectric strength of thin Parylene C films under various conditions
Michael Banghard, Romy Hartmann, Kamel Silmy, Wilfried Nisch, Rene P. von Metzen, Alfred Stett, Volker Bucher High voltage insulation properties of DLC-Parylene multilayer films for microsurgery instruments
Victor V. Lyubimov, Vladimir M. Volgin, Ulrich Mescheder, Inna V. Gnidina, Alexey Ivanov Investigation of plastic electrode tools for electrochemical machining of silicon
Michael Metzger, Vanessa Schenk, Alexander Konrad, Jan Brunner, Victoria Radun, Sabrina Hajek, Alfred J. Meixner, Andreas Modler, Dieter Stoll, Volker Bucher, Marc Brecht Kompakter optischer Hybridsensor für Brechungsindexmessungen
Vera Rech, Ramona Draxler, Volker Bucher, Boris Hofmann Neurotransmitterdetektion in vivo – Anwendung elektrochemischer Messverfahren
Vera Rech, Ramona Draxler, Volker Bucher, Boris Hofmann Neurotransmitterdetektion in vivo – Anwendung elektrochemischer Messverfahren: Teil 2
Vera Rech, Ramona Draxler, Volker Bucher, Boris Hofmann Neurotransmitterdetektion in vivo – Anwendung elektrochemischer Messverfahren: Teil 3
Vera Rech, Ramona Draxler, Volker Bucher, Boris Hofmann Neurotransmitterdetektion in vivo – Anwendung elektrochemischer Messverfahren: Teil 4
Alvaro O. Pérez, Vera Kallfaß-de Frenes, Alexander Filbert, Janosch Kneer, Benedikt Bierer, Pirmin Held, Philipp Klein, Jürgen Wöllenstein, Dirk Benyoucef, Sigrid Kallfaß, Ulrich Mescheder, Stefan Palzer Odor-Sensing System to Support Social Participation of People Suffering from Incontinence
Johannes Maisch, Farhad Jafarli, Thomas Chassé, Felix Blendinger, Alexander Konrad, Michael Metzger, Alfred J. Meixner, Marc Brecht, L. Dähne, Hermann A. Mayer One-pot synthesis of micron partly hollow anisotropic dumbbell shaped silica core–shell particles
Andras Kovacs, Ulrich Mescheder PSi-based Diffusion Membranes
Michael Banghard, Christian Freudigmann, Kamel Silmy, Alfred Stett, Volker Bucher Plasma treatment on novel carbon fiber reinforced PEEK cages to enhance bioactivity
Shervin Keshavarzi, Ulrich Mescheder, Holger Reinecke Room Temperature Si–Si Direct Bonding Technique Using Velcro-Like Surfaces
Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder Surface Micromachining (Sacrificial Layer) and Its Applications in Electronic Devices

2015

Ulrich Mescheder, Andras Kovacs, Wolfgang Kronast, Bernhard Müller, Alexey Ivanov Adaptiver optischer Filter bzw. spektral einstellbare Lichtquelle
Frederico Lima, Holger Reinecke, Ulrich Mescheder Adhesion of Continuous and Homogeneous Electrodeposited Copper Layers on Silicon
Christine Härtel, Dorothee Maier, Astrid Wagner, Volker Bucher Atmosphärendruckplasma in der Medizintechnik Teil 2
Christine Härtel, Dorothee Maier, Astrid Wagner, Volker Bucher Atmosphärendruckplasma in der Medizintechnik Teil 3
Christine Härtel, Dorothee Maier, Astrid Wagner, Volker Bucher Atmosphärendruckplasma in der Medizintechnik Teil 4
Christine Härtel, Dorothee Maier, Astrid Wagner, Volker Bucher Atmosphärendruckplasma in der Medizintechnik Teil 5
Christine Härtel, Dorothee Maier, Astrid Wagner, Volker Bucher Atmosphärendruckplasma in der Medizintechnik Teil 6
Shervin Keshavarzi, Ulrich Mescheder, Holger Reinecke Bonding Mechanism in the Velcro Concept Si-Si Low Temperature Direct Bonding Technique
Isman Khazi, Ulrich Mescheder, Zohaib Siddiqui Characterization of the influence of Sodium-Lauryl-Sulfate on the surface quality of electrodeposited Nickel-Cobalt alloys
Ulrich Mescheder, Isman Khazi Corner rounding of sharp silicon punching tool edges by local oxidation of silicon
Victoria Radun, Rene P. von Metzen, T. Stieglitz, Volker Bucher, Alfred Stett Evaluation of adhesion promoters for Parylene C on gold metallization
Michael Banghard, Kamel Silmy, Rene P. von Metzen, Volker Bucher Korrosionsschutz von Edelstahl mit neuartigem Schichtdesign
Paul Walden, Janosch Kneer, Stefan Knobelspies, Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder, Stefan Palzer Micromachined Hotplate Platform for the Investigation of Ink-Jet Printed, Functionalized Metal Oxide Nanoparticles
Wolfgang Kronast, Volker Lange, Rolf Huster, Ulrich Mescheder Optische Charakterisierung von Stress-relaxierten aktiven MOEMS-Membranspiegeln mit großer Apertur
Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder Primary Current Distribution Model for Electrochemical Etching of Silicon Through a Circular Opening
Andras Kovacs, Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder Refractometer Using Photonic Crystals for Fermentation Process Characterization
Isman Khazi, Ulrich Mescheder Self-aligning micro punch-die tool-system for high precision blanking of thin metal foils
Surjitsinh Chauhan, Bernhard Müller, Ulrich Mescheder Simulation, Fabrication and Characterization of Robust Vibrational Energy Harvester
Isman Khazi, Ulrich Mescheder Surface polishing of rough (110) silicon plane by HNA etching resulting from wet anisotropic KOH etching
Andras Kovacs, Philipp Maurer, Ulrich Mescheder Temperatureinfluss auf die Peakposition bei verschiedenen Umgebungsmedien in Porösen Silizium Multilayerschichten
Andras Kovacs, Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder Tunable Narrow Band Porous Photonic Crystals for MOEMS Based Scanning Systems
Astrid Wagner, Dagmar Martin, Volker Bucher Untersuchung des Einflusses der Reinigung und Oberflächenvorbehandlung von Edelstahloberflächen auf die Haftung von Silikonspritzgussmassen

2014

Rui Zhu, Ulrich Mescheder, Frederico Lima Actuation concept for miniaturized tactile systems
Shervin Keshavarzi, Ulrich Mescheder, Holger Reinecke Characterisation and simulation of low temperature Si-Si direct bonding through velcro-like surfaces based on porous silicon
Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder, Bernhard Müller, Rolf Huster Development of a focusing micromirror device with an in-plane stress relief structure in silicon-on-insulator technology
Frederico Lima, Ulrich Mescheder, Holger Reinecke Electrochemical Impedance Spectroscopy of n-Si(100) Pre-etched by KOH or BHF
Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder, Peter Woias Finite-Elements Simulation of Etch Front Propagation in Silicon Electropolishing Process
Ulrich Mescheder Forschungsgebiet Mikrosystemtechnik im Forschungsschwerpunkt Smart Systems
Ulrich Mescheder, Isman Khazi, Andras Kovacs, Alexey Ivanov MOEMS based concept for miniaturized monochromators, spectrometers and tunable light sources
Frederico Lima, Ulrich Mescheder, Holger Reinecke Maskless Selective Electrodeposition on Silicon
Laszlo Becsi, Thomas Bier, Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder, Dirk Benyoucef Miniaturisiertes Impulslärm-Dosimeter zur Untersuchung und Vermeidung von Gehörschädigungen bei Menschen
Nigol Kaste, Alexander Filbert, Ulrich Mescheder, Toomas Rang, Galina Rang Process Development For 3D Laser Lithography
Ulrich Mescheder, Isman Khazi, Andras Kovacs, Alexey Ivanov Tunable optical filters with wide wavelength range based on porous multilayers
Volker Bucher Wohin geht für die Medizintechnik die Reise?

2013

Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder, Bernhard Müller Developement of stress relief suspensions for micro-machined silicon membranes
Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder, Bernhard Müller, Rolf Huster Development of a focusing micromirror device with an in-plane stress relief structure in SOI technology
Andras Kovacs, Aina Malisauskaite, Ulrich Mescheder Einfluss der Morphologie auf die Sensitivität eines photonischen Biosensors
Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder, Bernhard Müller, Rolf Huster Entwicklung einer Stressausgleichsstruktur für spannungsarme aktive Membranspiegel in SOI Technologie
Laszlo Becsi, Dirk Benyoucef, Thomas Bier, Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder Entwicklung eines Impulslärm-Dosimeters zur Untersuchung von Gehörschädigungen bei Menschen
Shervin Keshavarzi, Ulrich Mescheder, Holger Reinecke Modeling the adhesion between nanoneedle surfaces bonded based on Velcro or Gecko principle
Andras Kovacs, Aina Malisauskaite, Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder, Rainer Wittig Optical sensing and analysis system based on porous layers
Andras Kovacs, Aina Malisauskaite, Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder Portable Optical Sensor Using Tunable Optical Multilayers
Ulrich Mescheder, Qingyun Gu, Bernhard Müller Preiswerter und robuster Harvester für Vibrationsenergie
Rui Zhu, Aina Malisauskaite, Ulrich Mescheder, Ulrike Wallrabe Proof of Concept and Properties of Micro Hydraulic Displacement Amplifier
Andras Kovacs, Wolfgang Kronast, Alexander Filbert, Ulrich Mescheder Transport in Surface Passivated Porous Silicon Membranes

2012

Shervin Keshavarzi, Ulrich Mescheder, Holger Reinecke, Andras Kovacs Contact Mechanics and Needle Like Surfaces for Micro-Nano Integration
Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder Dynamic Simulation of Electrochemical Etching of Silicon with COMSOL
S. Hildering, Laszlo Becsi, U. Engel, M. Merklein, Ulrich Mescheder Experimental investigations on high-precision microcutting of copper foils with microfabricated silicon punches
Michael Weinmann, Wilfried Nisch, Alfred Stett, Volker Bucher Flexible Verkapselungsschichten für elektrisch aktive Mikroimplantate
Michael Weinmann, Wilfried Nisch, Alfred Stett, Volker Bucher Langzeitstabile Verkapselungsschichten mit integriertem Feuchtesensor für aktive Mikroimplantate
Volker Bucher Mechatronik: Medizintechnik an den Grenzen des Möglichen; Blinde sehen, Lahme gehen
Ulrich Mescheder, Antwi Nimo, Bernhard Müller, Awad Saad Abou Elkeir Micro harvester using isotropic charging of electrets deposited on vertical sidewalls for conversion of 3D vibrational energy
Thomas Bruns, Laszlo Becsi, Ulrich Mescheder, Herbert Schneckenburger Microfluidic system for single cell sorting based on deflection by optical tweezers
Volker Bucher NMI Reutlingen - anwendungsoptimierte Oberflächen für die Medizintechnik
Andras Kovacs, Alexey Ivanov, Aina Malisauskaite, Ulrich Mescheder Oberflächenstabilisierung nanostrukturierter poröser Siliziumschichten für sensorische Anwendungen
Frederico Lima, Ulrich Mescheder, Holger Reinecke Simulation of Current Density for Electroplating on Silicon Using a Hull Cell
S. Hildering, Laszlo Becsi, M. Merklein, Ulrich Mescheder Tranciatura ad alta precisione con punzoni in silicio
Andras Kovacs, Ulrich Mescheder Transport mechanisms in nanostructured porous silicon layers for sensor and filter applications

2011

Antwi Nimo, Ulrich Mescheder, Bernhard Müller, Awad S. Abou Elkeir 3D capacitive vibrational micro harvester using isotropic charging of electrets deposited on vertical sidewalls
Antwi Nimo, Ulrich Mescheder, Bernhard Müller, Awad S. Abou Elkeir A device for 3D energy harvesting
Andras Kovacs, Ulrich Mescheder Herstellung und Charakterisierung perforierter und poröser Membranmodulen für Mikro- und Nanofiltration
Alexey Ivanov, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder High quality 3D shapes by silicon anodization
Volker Lange, Frederico Lima, Dietrich Kühlke Multicolour LED in luminescence sensing application
Prasad Jonnalagadda, Ulrich Mescheder, Andras Kovacs, Antwi Nimo Nanoneedles based on porous silicon for chip bonding with self assembly capability
Ting Yuan, Ulrich Mescheder, Wolfgang Kronast, Changlong Wang Optimization of Deformation Shape of an Active Electro-Optical Focusing Device
Andras Kovacs, Prasad Jonnalagadda, Ulrich Mescheder Optoelectrical detection system using porous silicon-based optical multilayers
Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder Silicon Electrochemical Etching for 3D Microforms with High Quality Surfaces

2010

Antwi Nimo, Ulrich Mescheder 3-D capacitive vibrational harvester for autonomous low power sensors
Volker Bucher, Wilfried Nisch Beschichtungen für Life Science: Vakuumbeschichtungstechnik und Plasmabehandlung von Mikrosystemen in Medizintechnik, Pharmaforschung und Biologie
Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder, Bernhard Müller, Antwi Nimo, Claus Braxmaier, Thilo Schuldt Development of a tilt actuated micromirror for applications in laser interferometry
Awad Saad, Ulrich Mescheder, Bernhard Müller, Antwi Nimo High eficient, low cost electret charging set-up for mems based energy harvesting systems
Thomas Bruns, Laszlo Becsi, Marc Talkenberg, Michael Wagner, Petra Weber, Ulrich Mescheder, Herbert Schneckenburger Microfluidic system for single cell sorting with optical tweezers
Frederico Lima, Volker Lange, Sergey Borisov, Dietrich Kühlke Multicolor LED-based temperature and O2-pressure sensor
Alexey Ivanov, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder Nasschemisches Ätzen von nahezu beliebigen 3D-Strukturen in Silizium
Ulrich Mescheder, Prasad Jonnalagadda, Andras Kovacs, X. Meng Optischer Biosensor mittels selbstorganisierter nanostrukturierte Multilayerschichten
Andras Kovacs, Ulrich Mescheder, Prasad Jonnalagadda, X. Meng Optisches Messsystem für biosensorische Anwendungen
Volker Bucher Plasmaunterstützte chemische Dampfphasenabscheidung
Volker Bucher Substratwerkstoffe für die dekorative vakuumtechnische Beschichtung
Simon Ressel, Martin Gohlke, Dominik Rauen, Thilo Schuldt, Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder, Ulrich Johann, Dennis Weise, Claus Braxmaier Ultrastable assembly and integration technology for ground- and space-based optical systems

2009

Andras Kovacs, Prasad Jonnalagadda, X. Meng, Ulrich Mescheder Characterization of porous silicon based optical sensor system for biosensor applications
Herbert Schneckenburger, Rainer Börret, Claus Braxmaier, Rudolf Kessler, Petra Kioschis, Dietrich Kühlke, Ulrich Mescheder, Werner Schröder, Christoph Nachtigall Dem Energiestoffwechsel von Tumorzellen und Bioreagenzien auf der Spur
Andras Kovacs, Prasad Jonnalagadda, X. Meng, Ulrich Mescheder Entwicklung und Charakterisierung von photonischen Multischichten aus porösem Silizium für biosensorische Anwendungen
Andras Kovacs, Dirk Meister, Ulrich Mescheder Investigation of humidity adsorption in porous silicon layers
Ulrich Mescheder, Andras Kovacs, Jutaphorn Kritwattanakhorn, Bernhard Müller, Marie-Luise Bauersfeld, Sven Rademacher, Jürgen Wöllenstein, Christoph Ament, Andreas Peter Mikrostrukturierter Sensorarray zur Luftqualitätsmessung (MOSEL)
Ulrich Mescheder, Andras Kovacs, Prasad Jonnalagadda, Antwi Nimo Nanostrukturierte Siliziumoberflächen für Mikro-Nano-Integration
Alexey Ivanov, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder, S. Kuhn, M. Kübler, A. Burr Optimisation of Surface Quality of 3D Silicon Master Forms for Injection Molding of Optical Micro Elements
Ulrich Mescheder, Bernhard Müller, Safi Baborie, P. Urbanovic Properties of SiO2 electret films charged by ion implantation for MEMS-based energy harvesting systems
Ulrich Mescheder, Andras Kovacs, Prasad Jonnalagadda, Antwi Nimo Selbstjustierendes Bondverfahren unter Verwendung nanostrukturierter Oberflächen
Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder, Rolf Huster Stressuntersuchung und Optimierung von SOI basierten Membranen

2008

Ulrich Mescheder, P. Urbanovic, Bernhard Müller, Safi Baborie Charging of SiO2 Electret Film by Ion Implantation for MEMS Based Energy Harvesting Systems
Adam Kovacs, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder Estimation of elasticity modulus and fracture strength of thin perforated SiN membranes with finite element simulations
Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder, M. Kröner, Peter Woias Formation of Arbitrarily Shaped 3D-Forms in Silicon by 315 Electrochemical Wet-Etching
HFU Forscher top
Volker Bucher, Diethard Kapp-Schwoerer Mikrostrukturierte Diamond-Like-Carbon-Schichten (DLC) in Kombination mit Galvanikschichten
T. Hellmuth, Konstantin Khrennikov, Wolfgang Kronast, Rolf Huster, Ulrich Mescheder Optimisation and characterisation of parabolic membrane mirrors
Volker Bucher Plasma-Beschichtungen für die Medizin-Technik und den Life-Science-Bereich
Volker Bucher, Diethard Kapp-Schwoerer Plasmabeschichtung in der Mikrotechnik

2007

Daniela Kögler, Rolf Huster, Wolfgang Kronast, Ulrich Mescheder Aufbau- und Verbindungstechnik für ein mikrooptisches System
Alexey Ivanov, Ulrich Mescheder, Andras Kovacs, Rolf Huster Einfluss unterschiedlicher Passivierungsschichten auf die Bildungsrate von porösem Silizium an Strukturkanten bei der 3DFormherstellung
Ulrich Mescheder, Marie-Luise Bauersfeld, Andras Kovacs, Jutaphorn Kritwattanakhorn, Bernhard Müller, Andreas Peter, Christoph Ament, Sven Rademacher, Jürgen Wöllenstein MEMS-Based Air Quality Sensor
Andras Kovacs, Adam Kovacs, M. Pogany, Ulrich Mescheder Mechanical investigation of perforated and porous membranes for micro- and nanofilter applications
Andreas Peter, Christoph Ament, Marie-Luise Bauersfeld, Sven Rademacher, Jürgen Wöllenstein, Jutaphorn Kritwattanakhorn, Andras Kovacs, Bernhard Müller, Ulrich Mescheder Modellbasierte Verfahren zur Bestimmung der Luftgüte
Volker Bucher Novel Decorative Color Coatings Using Plasma Deposition
Ulrich Mescheder, Rolf Huster, Wolfgang Kronast, Thomas Hellmuth, Konstantin Khrennikov Optimierung und Charakterisierung eines Membranspiegels zur dynamischen Fokussierung
Jutaphorn Kritwattanakhorn, Marie-Luise Bauersfeld, Andras Kovacs, Bernhard Müller, Ulrich Mescheder, Sven Rademacher, Jürgen Wöllenstein Optimization of platinum adhesion in electrochemical etching process for multi-sensor systems
Andras Kovacs, Bernhard Müller, Jutaphorn Kritwattanakhorn, Ulrich Mescheder, Andreas Peter, Christoph Ament, Jürgen Wöllenstein, Marie-Luise Bauersfeld, Sven Rademacher Sensor system for air quality measurement

2006

Rolf Huster, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder 3-D Micro Free-Form Manufacturing in Silicon: Micro Free- Form Production for Plastics Moulding Technology
Ulrich Mescheder, Zoltan Torok, Wolfgang Kronast Active focusing device based on MOEMS technology
Volker Bucher DLC-Schichten als Ersatz für Chromschichten
Ulrich Mescheder, Carlos Estan, Gergoe Somogyi, Markus Freudenreich Distortion optimized focusing mirror device with large aperture
Adam Kovacs, Zsolt Vizvary, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder Large Defection Analysis of Perforated Silicon Nitride Membranes
Volker Bucher Neuartige dekorative Farbschichten durch Plasma-Beschichtung
Jutaphorn Kritwattanakhorn, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder, Bernhard Müller, Marie-Luise Bauersfeld, Sven Rademacher, Jürgen Wöllenstein Optimization of platinum adhesion in electrochemical etching process for multi-sensor systems
Andras Kovacs, M. Pogany, Ulrich Mescheder, Adam Kovacs Realization and mechanical investigation of perforated and porous membranes for filter applications

2005

Christoph Ament, Marie-Luise Bauersfeld, Andras Kovacs, Jutaphorn Kritwattanakhorn, Ulrich Mescheder, Bernhard Müller "Single chip"-Sensorarray zu Luftqualitätsmessung
Rolf Huster, Andras Kovacs, Ulrich Mescheder 3-D Micro Free-Form Manufacturing in Silicon Micro-Free- Form Production for Plastics Moulding Technology
Ulrich Mescheder, Andras Kovacs 3D-Mikrostrukturierungsverfahren: von kristallinem Silizium mit lokal einstellbarem Anisotropiefaktor
Ulrich Mescheder, Markus Freudenreich Charakterisierung eines bi-stabilen Schalters mit großem Schaltweg und einstellbaren Haltekräften
Ulrich Mescheder, Carlos Estan, Gergoe Somogyi, Markus Freudenreich MOEMS focusing device with ideal parabolic deflection shape
Ulrich Mescheder, Gergoe Somogyi, Markus Freudenreich, Carlos Estan Mikrotechnisch hergestellter Membranspiegel für aktive Fokussierung
Andreas Peter, Christoph Ament, Marie-Luise Bauersfeld, Sven Rademacher, Jürgen Wöllenstein, Andras Kovacs, Jutaphorn Kritwattanakhorn, Bernhard Müller, Ulrich Mescheder Neuartiger Mikrosensor zur Luftgütemessung mit kombiniertem Feuchte- und Gassensor
Ulrich Mescheder, Andras Kovacs, Roland Schneider Optische Penmaus mit Bluetooth

2004

Mark Herding, Gergoe Somogyi, Ulrich Mescheder, Peter Woias A new micromachined optical fiber switch for instrumentation purposes
Wolfgang Kronast, Aritz J. Laskurain, Ulrich Mescheder Das Rasterkraftmikroskop (AFM) zur Charakterisierung und Strukturierung im Nanometerbereich
Ulrich Mescheder Mikrosystemtechnik : Konzepte und Anwendungen
Ulrich Mescheder Nanoporous Silicon: Multifunctional Material for Microsystems
Ulrich Mescheder, Wolfgang Kronast, N. Naychuk Reliability investigations in micromechanical devices
Markus Freudenreich, Ulrich Mescheder, Gergoe Somogyi Simulation and realization of a novel micromechanical bi-stable switch

2003

Markus Freudenreich, Ulrich Mescheder, Gergoe Somogyi Design Consideration and Realization of a Novel Micromechanical Bi-Stable Switch
S. Bauerdick, Claus J. Burkhardt, R. Rudorf, W. Barth, Volker Bucher, Wilfried Nisch In-situ monitoring of electron beam induced deposition by atomic force microscopy in a scanning electron microscope
Ulrich Mescheder Modern Silicon-based MEMS Technology
Alfred Stett, Volker Bucher, Claus J. Burkhardt, U. Weber, Wilfried Nisch Patch-clamping of primary cardiac cells with micro-openings in polyimide films
Ulrich Mescheder Porous Silicon: Technology and Applications for Micromachining and MEMS
P. Fürjes, Andras Kovacs, Cs. Dücsö, M. Adam, Bernhard Müller, Ulrich Mescheder Porous silicon-based humidity sensor with interdigital electrodes and internal heaters

2002

Ulrich Mescheder, Andras Kovacs, A. Fahad, Rolf Huster 3D structuring of c-Si using porous silicon as sacrificial material
Volker Bucher, Jürgen Brugger, Dieter Kern, Gyu M. Kim, Markus Schubert, Wilfried Nisch Electrical properties of light-addressed sub-μm electrodes fabricated by use of nanostencil technology
Ulrich Mescheder, M. Alavi, K. Hiltmann, Ch. Lietzau, Christoph Nachtigall, H. Sandmaier Local laser bonding for low temperature budget
Ulrich Mescheder, Wolfgang Kronast, N. Naychuk Reliability Investigations in Micromechanical Devices
Volker Bucher Untersuchungen zur Realisierung einer lichtadressierten elektrischen Kontaktierung elektrogener Zellen mit in sub-μm-Dimension frei wählbarem Ort

2001

Christoph Nachtigall, Ulrich Mescheder Bewegungsgeber
Volker Bucher, Bernhard Brunner, Cornelia Leibrock, Markus Schubert, Wilfried Nisch Electrical properties of a light addressable microelectrode chip with high electrode density for extracellular stimulation and recording of excitable cells
Volker Bucher, Markus Schubert, Dieter Kern, Wilfried Nisch Light-addressed sub-μm electrodes for extracellular recording and stimulation of excitable cells
Ulrich Mescheder, M. Alavi, K. Hiltmann, Ch. Lizeau, Christoph Nachtigall, H. Sandmaier Local Laser Bonding for Low Temperature Budget
Christoph Nachtigall, Ulrich Mescheder Movement giver
Christoph Nachtigall, Ulrich Mescheder Movement giver having body with after-glowing surface
Ulrich Mescheder, Andras Kovacs, Wolfgang Kronast, Istvan Barsony, M. Adam, Cs. Dücsö Porous silicon as multifunctional material in MEMS
Andras Kovacs, Ulrich Mescheder Surface Micromachining Process for C-Si as Active Material

2000

Ulrich Mescheder Mikrosystemtechnik : Konzepte und Anwendungen
M. Reichardt, Ulrich Mescheder, Nagy Nosseir Simulation of a Micro-Fabricated Inclinometer

1999

Volker Bucher, Michael Graf, Martin Stelzle, Wilfried Nisch Low-impedance thin-film polycrystalline silicon microelectrodes for extracellular stimulation and recording
Ulrich Mescheder, Christiane Kötter Optical monitoring and control of Si wet etching

1998

Ulrich Mescheder, Christiane Kötter Optical monitoring and control of Si wet etching
Ulrich Mescheder, C. Kötter, E. Kolguin, A. Oukhov Optische Insitu-Prozesskontrolle beim anisotropen Ätzen von Si-Membranen
Ulrich Mescheder, Christiane Kötter, B. Katzenstein Piezoelectric Inch Worm Motor with Monolithically Integrated Driving Block

1997

Volker Bucher Herstellung und Charakterisierung von Dünnschicht-Mikroelektroden mit herkömmlichem und porösem Polysilizium
Ulrich Mescheder, S. Majer Micromechanical inclinometer

1996

Ulrich Mescheder, S. Majer, R. Keller 2-Achsen Si-Neigungssensor: Simulation und Realisierung
Ulrich Mescheder, S. Majer Mikromechanischer Neigungssensor für industrielle Anwendungen
E. A. Kolgin, I. A. Tumanov, A. A. Ukhov, Ulrich Mescheder Photometric device for control of micromechanical elements manufacturing

1995

S. Majer, Ulrich Mescheder Konzept eines planaren 2-Achsen Silizium Neigungssensors
S. Majer, Ulrich Mescheder Simulation supported design of micromechanical sensors
S. Majer, Ulrich Mescheder Simulation supported design of micromechanical sensors

1991

L.-M. Buchmann, Ulrich Mescheder, M. Torkler Characterization of silicon open stencil masks in an ion projection lithography machine
M. Zander, Ulrich Mescheder Maskenmetrologie: Anforderungen und Trends

1990

Ulrich Mescheder, U. Mackens, H. Lifka, R. Dammel, G. Pawloski, J. Theis Application of positive and negative tone x-ray resist for 0.5μm CMOS device fabrication
H. Schaffer, Ulrich Mescheder, U. Weigmann, H.-C. Petzold Influence of X-ray mask repair on pattern placement accuracy
H. Lüthje, A. Bruns, H. Harms, I. Köhler, Ulrich Mescheder, U. Mackens, T. Stuck X-ray mask technology: Precise etching of sub-half-micron tungsten absorber features

1989

U. Mackens, Ulrich Mescheder, F. Mund, H. Lüthje, H. Lifka, C.A.H. Juffermans, P.H. Woerlee, A.J. Walker Fabrication of 0.5 μm NMOS-devices by all level X-ray lithography
Ulrich Mescheder, U. Mackens, F. Mund Investigation Of Linewidth Uniformity In X-Ray Lithography
U. Mackens, Ulrich Mescheder, H. Lüthje Röntgenstrahllithographie: Herstellung einer 0.5 μm Schaltung und Overlayuntersuchungen
S. Pongratz, Ulrich Mescheder, Ch. Ehrlich, H.-L. Huber, K. Kohlmann, W. Windbracke State of the art of pattern placement accuracy of silicon X-ray master masks
Ulrich Mescheder, K. Werner Submikrometer Linienbreitenmetrologie hoher Genauigkeit

1988

U. Mackens, H. Lüthje, Ulrich Mescheder, F. Mund, S. Pongratz Application Of Sic-X-Ray Masks For Fabricating Sub-Micron Devices
H.-L. Huber, S. Pongratz, J. Trube, W. Windbracke, Ulrich Mescheder, F. Mund Sub‐half‐micron critical dimension control in x‐ray lithography mask technology

1987

Ulrich Mescheder, F. Mund, H.-L. Huber Linewidth metrology for x-ray masks with subhalfmicron feature size

1986

H. Betz, H.-L. Huber, S. Pongratz, W. Rohrmoser, W. Windbracke, Ulrich Mescheder Silicon X-ray masks: Pattern placement and overlay accuracy
H. Lüthje, U. Mackens, Ulrich Mescheder, B. Matthießen Stability of SiC-masks for high resolution synchrotron X-ray lithography

1985

Ulrich Mescheder, G. Weiser Optical study of space charge injection in plasma deposited a-Si:H

1984

Ulrich Mescheder, G. Weiser Electro‐optical effects on the absorption edge of a‐Si:H