Mikrosysteme sind Systeme, in denen elektronische und nichtelektronische Funktionen systemtechnisch auf kleinstem Raum („Chip“) integriert werden. Dazu werden Strukturen im Bereich von Mikrometern benötigt, die mittels mikrotechnischen Verfahren erzeugt werden. Mikrosysteme werden millionenfach in Automobilen (Sensoren), in der Kommunikationstechnik (Smart Phones, Projektoren, Drucker) und in der Medizintechnik (Retina-Implantate, Cochlea-Implantate) eingesetzt.

Im Institut für Mikrosystemtechnik (iMST) werden neue Mikrosysteme, zugehörige Modellierungs- und Herstellungsverfahren sowie Methoden zu Charakterisierung erforscht. Entsprechend des Charakters der Mikrosystemtechnik als Querschnittstechnologie werden im iMST mehrere Bereiche abgedeckt:

  • Miniaturisierte Sensoren und Aktuatoren: Erforschung neuer Prinzipien und Gestaltungsmöglichkeiten
  • Mikro- und Nanotechnologie (Fertigungsverfahren zur Herstellung von Mikrosystemen)
  • funktionale Beschichtungen für die Medizintechnik
  • Korrosionsschutzschichten mittels Atomic Layer Deposition (ALD)
  • implantierbare Mikrosysteme
  • mikrofluidische Systeme