Forschung im Mikro- und Nano-Bereich

Führung durch das Technologielabor für Mikro- und Nanosysteme der HFU.

„Mikrosysteme sind aus unserem täglichen Leben nicht wegzudenken – in Autos, Smartphones oder medizintechnischen Geräten werden zahlreiche Mikrosensoren eingearbeitet“, begrüßte Professor Dr. Ulrich Mescheder beim Tag der offenen Tür des Furtwanger Instituts für Mikrosystemtechnik (iMST). Er ist Prorektor für Forschung der Hochschule Furtwangen (HFU) und Leiter des iMST.

Ein Forschungsschwerpunkt des iMST ist die Herstellung von Mikro-Werkzeugen. Seit vielen Jahren entwickeln Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftler unter Leitung von Professor Dr. Ulrich Mescheder neue Verfahren zur Herstellung von Mikrosystemen und Methoden zu deren Charakterisierung. Ein weltweit anerkannter Kompetenzschwerpunkt liegt in der Herstellung von porösem Silizium, das unter anderem für optische Messmethoden eingesetzt werden kann.

Professor Dr. Volker Bucher, stellvertretender Leiter des iMST, forscht an Beschichtungs- und Verkapselungstechnologien von intelligenten Implantaten, etwa für Epilepsiepatienten. Bei derartigen Implantaten, die langfristig im Körper verbleiben sollen, wird die hochempfindliche Sensorik durch hauchdünne, aber dennoch stabile und undurchlässige Beschichtungen geschützt.

Moderne Labortechnik: Clusteranlage zur Atomlagenabscheidung
Im vergangenen Jahr erhielt die HFU eine Bundesförderung in Höhe von knapp 1 Million Euro zum Aufbau einer Atomlagenabscheidung-Clusteranlage. Mit der Anlage lassen sich in wenigen Sekunden einzelne Atomschichten auf eine Oberfläche aufbringen. Dadurch können entweder die Eigenschaften der Oberfläche verändert oder die Oberfläche geschützt werden. Die neue Clusteranlage steht im Technologielabor für Mikro- und Nanosysteme, das rund 270 m² Reinraumfläche umfasst.

Forschung an der Hochschule Furtwangen
Forschung an der HFU ist in sechs Forschungsschwerpunkte gegliedert. Um die wachsende Forschungsleistung der Hochschule abzubilden, wurden vor zwei Jahren Fachinstitute mit spezifischem Forschungsprofil gegründet. Das iMST ist eines von insgesamt zehn Fachinstituten der HFU.

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