Dienstleistungen

  • Durchführung von Praktika für Partnerhochschulen
  • Schulungen für die Industrie
  • Durchführung von Auftragsarbeiten (Durchführung von Einzelprozessen oder des gesamten Prozesses; Prototypenentwicklung – insbesondere Entwicklung physikalischer Sensoren und Aktoren; Beratung und Unterstützung bei der Entwicklung und Herstellung von Mikrosystemen; Charakterisierung und Fehleranalyse; Simulationen)

Forschungskooperationen: unsere Kompetenzgebiete

Entwicklung von mikrotechnischen Sensoren und Aktoren, mikro- und nanotechnische Verfahren, multiphysics-Systemmodellierung und Simulation sowie Charakterisierungstechnik für Mikrosysteme. Die Arbeitsgruppe bringt eine langjährig aufgebaute Kompetenz in der Mikro- und Nanotechnologie ein.

Die Projekte lassen sich den Feldern Technologieentwicklung für Mikro- und Nanostrukturen und miniaturisierte Si-basierte Systeme (Sensoren und Aktoren) zuordnen.

Die zugehörigen bearbeiteten Projekte sind: 3D-Ätzen von Mikroformen, Luftqualitätssensoren, optische Biosensoren, Bonden mit nanostrukturiertem porösen Si, Nano- und Ultrafiltration, Oberflächenmikromechanik unter Verwendung von porösem Silizium als Opferschicht, Mikro-Drehspiegel, Laserpinzette, Mikrostanzen, Si-Membranspiegel für Autofokus, Neigungssensor, mikromechanische Mikrofone und vibrationsbasierter Energy Harvester (Smart Energy).

 

Beispiele für an der HS Furtwangen realisierte Sensoren und Aktoren