Laborbeschreibung Mikroelektronik-Labor

Zur praktischen Ausbildung in der Mikrosystemtechnik und zur Forschung verfügt die Hochschule Furtwangen über eine vollständig ausgebaute Silizium-Technologielinie mit einer Gesamtreinraumfläche von derzeit 270 m². In dieser Technologielinie sind alle Geräte zur Herstellung von integrierten Schaltungen sowie von Sensoren und Aktoren vorhanden:

• Ionenimplantation,
• Fotolithographie,
• Sputtern,
• Aufdampfen,
• Oxidation,
• LPCVD,
• Naß- und Trockenätzprozesse sowie
• Geräte zur Charakterisierung.
• Lithografiemasken können ebenfalls hergestellt werden.

Auch auf dem neuen Gebiet der Nanotechnologie wird seit 1999 gearbeitet.

Im Rahmen eines Praktikums lernen die Studenten die Geräte und Technologien der Mikrosystemtechnik kennen und stellen selbst eine integrierte Schaltung her. Im Mikrolabor werden 3 verschiedene Praktika durchgeführt:

• Herstellung eines kompletten Schaltreises in n-Kanal MOSFET-Technik (Speicher, Ringoszillator, verschieden Teststrukturen) einschließlich Charakterisierung der gefertigten Bauelemente.
• Einzelversuche zur Mikrotechnologie (Oxidation, Aluminium-Metallisierung, Photoprozess, RIE-Ätzen, Schichtdickencharakterisierung, Schichtwiderstandsmessung).
• Projektpraktika zu aktuellen FuE-Themen insbesondere der Mikrosystemtechnik (Jahresprojekt, Abschlußarbeit).

Bei Abschlußarbeiten können sie selbständig Sensoren und Aktoren entwerfen, herstellen und ausmessen. Damit können die Studierenden im Mikrotechnologielabor fundierte praktische Kenntnisse in einem industriell außerordentlich interessanten Themengebiet erwerben. Darüber hinaus werden regelmässig Schulungen für die Industrie und Partnerhochschulen durchgeführt.

Der Schwerpunkt der Forschungsaktivitäten liegt auf der mikrotechnischen Realisierung physikalischer Sensoren und Aktoren (2-Achsen-Neigungssensor, optischer Schalter, Mikrofon, Drucksensor und Feuchtigkeitssensor) und in der Entwicklung der zugehörigen Prozesstechnik. Entwicklungsarbeiten konnten wiederholt erfolgreich in industrielle Anwendungen transferiert werden. Publikationen in internationalen Zeitschriften und Patente demonstrieren die Qualität der im Mikrotechnologielabor laufenden FuE-Arbeiten.